Enhancement of YBCO microbolometer performances with regionally thinned microbridges
Notice bibliographique
Résumé
Silicon nitride microbridges (50x50 mm<sup>2</sup>, 0.6 mm thick), suspended over a silicon substrate, were patterned and thinned. These patterns consist of 2 to 12 windows that were thinned to approximately 0.3 mm. Microbolometers were fabricated by sputtering a YBaCuO thin film over the bridges. The experimental results showed that the regionally thinned microbridges have a lower thermal time constants t (about 1.6 ms) than that of the standard pixel configuration (2.6 ms). On the other hand, the fact that the regionally thinned microbolometers having detectivity D* values comparable to or even six times superior than that of the standard pixel showed that the decrease in response time is not penalized by loss of detection performance. The simulation results also show that as the amount of material removed is increased, the thermal time constant drops significantly while the (τ/G)<sup>1/2</sup> ratio (where G is the thermal conductance of the pixel) only decreases slightly, suggesting that the reduced response time will not cause a significant drop in detectivity D*. The simulation results of mechanical integrity show that a specific regionally thinned microbridge design has 22 % higher stiffness than that of a standard pixel design with similar thermal properties. The fact that thick regions remained on the regionally thinned pixels (like the edges of the pixels) provide significant mechanical support to the microstructures. This confirms the validity of the regionally thinned microbridges approach.
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Comment cette classification a été obtenuedéplier
Prédiction distillée sur la base complète
Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Apprise à partir de 10 348 étiquettes directes de Codex et de 10 348 étiquettes directes de Gemma. Le mode candidate est l'union des têtes enseignantes seuillées; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont ni des étiquettes humaines ni des étiquettes directes de modèles de pointe.
Scores Codex et Gemma par catégorie
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,000 | 0,000 |
| Bibliométrie | 0,000 | 0,000 |
| Études des sciences et des technologies | 0,000 | 0,000 |
| Communication savante | 0,000 | 0,000 |
| Science ouverte | 0,001 | 0,000 |
| Intégrité de la recherche | 0,000 | 0,000 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,000 | 0,000 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.
score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découleClassification
machine, non validéePrédiction automatique; un appel candidat d’une seule tête enseignante, pas un consensus.
Le détail, modèle par modèle et score par score, se trouve en fin de page sous « Comment cette classification a été obtenue ».