Remote hydrogen plasma chemical vapor deposition of silicon–carbon thin‐film materials from a hexamethyldisilane source: Characterization of the process and the deposits
Notice bibliographique
Résumé
Abstract Amorphous, hydrogenated silicon–carbon (a‐Si:C:H) films were produced by remote hydrogen plasma chemical vapor deposition (RHP‐CVD) with hexamethyldisilane (HMDS) as the starting compound. Microwave hydrogen plasma was the source of the atomic hydrogen active species. The susceptibility of particular bonds in the HMDS molecule toward the initiation step was established with tetramethylsilane as a model compound. The reaction mechanisms proposed for the RHP‐CVD process revealed the important role of polymerization in film growth. The temperature dependence of the film growth rate implied that the investigated RHP‐CVD was a nonthermally activated process. The a‐Si:C:H films produced at different deposition temperatures were characterized in terms of their chemical structure, surface and bulk composition, surface morphology, surface free energy, density, corrosion resistance, mechanical properties (adhesion and hardness), and optical properties (refractive index and optical band gap). The deposition temperature appeared to be a key parameter, precisely controlling the structure and properties of the resulting films. Based on the results of these studies, reasonable structure–property relationships were found. © 2002 Wiley Periodicals, Inc. J Appl Polym Sci 86: 1445–1458, 2002
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Comment cette classification a été obtenuedéplier
Prédiction distillée sur la base complète
Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Apprise à partir de 10 348 étiquettes directes de Codex et de 10 348 étiquettes directes de Gemma. Le mode candidate est l'union des têtes enseignantes seuillées; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont ni des étiquettes humaines ni des étiquettes directes de modèles de pointe.
Scores Codex et Gemma par catégorie
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,001 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,000 | 0,000 |
| Bibliométrie | 0,000 | 0,000 |
| Études des sciences et des technologies | 0,000 | 0,001 |
| Communication savante | 0,000 | 0,000 |
| Science ouverte | 0,001 | 0,000 |
| Intégrité de la recherche | 0,000 | 0,000 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,000 | 0,000 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.
score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découleClassification
machine, non validéePrédiction automatique; un appel candidat d’une seule tête enseignante, pas un consensus.
Le détail, modèle par modèle et score par score, se trouve en fin de page sous « Comment cette classification a été obtenue ».