Theoretical modeling of acousto-optic modulated stroboscopic interferometer
Pourquoi ce travail est dans la base
Une base qui oublie comment elle a trouvé un travail ne peut pas être vérifiée. Voici les voies qui ont admis celui-ci.
Notice bibliographique
Résumé
A requirement to advance consistency and predictability of Micro-Electro Mechanical System (MEMS) device has triggered research to have precise measurements and visual means to characterize dynamic parameters. Time resolved measurements of entire surface in a microdevice to nanometer level accuracy are difficult using conventional metrology system such as optical interferometer and optical microscopy. Laser Doppler Vibrometer (LDV) has found their applications to some extent. Due to Single point technique, scanning is a must in LDV which sets drawback for characterization in Microsystems. In this paper we propose the use of Acousto Optic Modulator (AOM) as a strobing device with a continuous wave laser to develop a stroboscopic interferometer for static and dynamic characterization of out of plane motion. Due to high random access time (typical 150 nanoseconds) AOM improves the capability of the tool to test MEMS devices of higher frequencies. Detail study is done on the strobe frequency to correlate the pulsating frequency of the laser by the AOM and the driven frequency of the microdevice. Theoretical modeling of the stroboscopic interferometer is carried out by formulating the understanding between strobe frequency and the MEMS device.
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Prédiction distillée sur la base complète
Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Apprise à partir de 10 348 étiquettes directes de Codex et de 10 348 étiquettes directes de Gemma. Le mode candidate est l'union des têtes enseignantes seuillées; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont ni des étiquettes humaines ni des étiquettes directes de modèles de pointe.
Scores Codex et Gemma par catégorie
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,001 | 0,001 |
| Bibliométrie | 0,000 | 0,000 |
| Études des sciences et des technologies | 0,000 | 0,001 |
| Communication savante | 0,000 | 0,000 |
| Science ouverte | 0,001 | 0,000 |
| Intégrité de la recherche | 0,000 | 0,000 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,000 | 0,000 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.
score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découle