Thermoelastic Damping in Layered Microresonators: Critical Frequencies, Peak Values, and Rule of Mixture
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Notice bibliographique
Résumé
The design of high- <i xmlns:mml="http://www.w3.org/1998/Math/MathML" xmlns:xlink="http://www.w3.org/1999/xlink">Q</i> microresonators requires a careful evaluation of thermoelastic damping (TED). Here, we consider the widely used class of flexural-mode bilayered beam resonators consisting of a substrate coated with a thin film and derive an analytical expression in the form of an infinite series to compute the frequency dependence of TED. The nature and structure of the thermoelastic dissipation spectrum were explored by computing TED over several decades of frequency in a large set of materials and structures. TED exhibits a rich variety of spectral features that include multiple well-resolved peaks. An approximate rule of mixture was obtained by retaining only the leading term of the infinite series. The accuracy and utility of the one-term approximation, which can be regarded as the analog of Zener's formula for bilayered beams, are discussed. Taken together, our results can be used to optimize the design of layered microresonators and gain useful insight into a fundamental mechanism of dissipation.
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Prédiction distillée sur la base complète
Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Apprise à partir de 10 348 étiquettes directes de Codex et de 10 348 étiquettes directes de Gemma. Le mode candidate est l'union des têtes enseignantes seuillées; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont ni des étiquettes humaines ni des étiquettes directes de modèles de pointe.
Scores Codex et Gemma par catégorie
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,001 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,001 | 0,000 |
| Bibliométrie | 0,000 | 0,000 |
| Études des sciences et des technologies | 0,000 | 0,000 |
| Communication savante | 0,000 | 0,000 |
| Science ouverte | 0,000 | 0,000 |
| Intégrité de la recherche | 0,000 | 0,001 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,000 | 0,000 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.
score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découle