MEMS mechanical logic units: characterization and improvements of devices fabricated with MicraGEM and PolyMUMPs
Notice bibliographique
Résumé
We are currently developing basic building blocks for creating digital logic units that are based on mechanical components. Transistors, which are semiconductor devices, rely on doping to change intrinsic semiconductor to extrinsic semiconductors. However, at low or high temperatures, that control is impossible as semiconductors revert to intrinsic behaviour. Also, semiconductors exhibit various complications under ionizing (radiation) environment. We have fabricated logic units using micro-mechanical relays using MEMS technology. The logic units consist of a micro-mechanical relay with three electrical gates. The mechanical relay is fabricated with a cantilever over an airgap, and is operated by applying voltage to the gate. The applied voltage creates an electric force between the gate and a cantilever structure. The electrostatic force arches the cantilever into electrical contact. Since the operation does not depend on controlling the type of charge carriers, the proposed method does not suffer from the limitations shared by semiconductors. With different input combinations applied to the gates of the device, development of MEMS mechanical logic, leading to general digital circuits, is possible. Characterization of the devices is performed, which includes operation times, operation voltages, and maximum currents. Design, fabrication and testing of these micro-mechanical logic elements will be presented in the paper.
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Comment cette classification a été obtenuedéplier
Prédiction machine sur la base complète
Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Le volet Gemma est une étiquette directe du modèle pour chaque travail de la base, lue sur la notice réduite au titre. Le volet Codex est un classifieur appris des 10 348 étiquettes directes de Codex et calibré sur les taux pondérés de l'échantillon; les champs sans appui suffisant ne portent aucun appel Codex. Le mode candidate est l'union des deux volets; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont pas des étiquettes humaines.
Scores du classifieur distillé par catégorie (deux têtes)
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,000 | 0,001 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,000 | 0,000 |
| Bibliométrie | 0,000 | 0,000 |
| Études des sciences et des technologies | 0,000 | 0,000 |
| Communication savante | 0,000 | 0,000 |
| Science ouverte | 0,000 | 0,000 |
| Intégrité de la recherche | 0,000 | 0,000 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,001 | 0,000 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.
score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découleClassification
machine, non validéePrédiction automatique; un appel candidat d’une seule source (Gemma direct ou Codex distillé), pas un consensus.
Le détail, modèle par modèle et score par score, se trouve en fin de page sous « Comment cette classification a été obtenue ».