Transient and end silicide phase formation in thin film Ni/polycrystalline-Si reactions for fully silicided gate applications
Notice bibliographique
Résumé
The Ni/polycrystalline-Si thin film reaction was monitored by in situ x-ray diffraction during ramp annealings, obtaining a detailed view of the formation and evolution of silicide phases in stacks of interest for fully silicided gate applications. Samples consisted of Ni (30–170nm)/polycrystalline-Si (100nm)∕SiO2 (10–30nm) stacks deposited on (100) Si. The dominant end phase (after full silicidation) was found to be well controlled by the deposited Ni to polycrystalline-Si thickness ratio (tNi∕tSi), with formation of NiSi2 (∼600°C), NiSi (∼400°C), Ni3Si2 (∼500°C), Ni2Si, Ni31Si12 (∼420°C), and Ni3Si (∼600°C) in stacks with tNi∕tSi of 0.3, 0.6, 0.9, 1.2, 1.4, and 1.7, respectively. NiSi and Ni31Si12 were observed to precede formation of NiSi2 and Ni3Si, respectively, as expected for the phase sequence conventionally reported. Formation of Ni2Si was observed at early stages of the reaction. These studies revealed, in addition, the formation of transient phases that appeared and disappeared in narrow temperature ranges, competing with formation of the phases expected in the conventional phase sequence. These included the transient formation of NiSi and Ni31Si12 in stacks in which these phases are not expected to form (e.g., tNi∕tSi of 1.7 and 0.9, respectively), at temperatures similar to those in which these phases normally grow.
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Comment cette classification a été obtenuedéplier
Prédiction machine sur la base complète
Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Le volet Gemma est une étiquette directe du modèle pour chaque travail de la base, lue sur la notice réduite au titre. Le volet Codex est un classifieur appris des 10 348 étiquettes directes de Codex et calibré sur les taux pondérés de l'échantillon; les champs sans appui suffisant ne portent aucun appel Codex. Le mode candidate est l'union des deux volets; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont pas des étiquettes humaines.
Scores du classifieur distillé par catégorie (deux têtes)
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,000 | 0,000 |
| Bibliométrie | 0,000 | 0,000 |
| Études des sciences et des technologies | 0,000 | 0,000 |
| Communication savante | 0,000 | 0,000 |
| Science ouverte | 0,000 | 0,000 |
| Intégrité de la recherche | 0,000 | 0,000 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,001 | 0,000 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.
score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découleClassification
machine, non validéePrédiction automatique; un appel candidat d’une seule source (Gemma direct ou Codex distillé), pas un consensus.
Le détail, modèle par modèle et score par score, se trouve en fin de page sous « Comment cette classification a été obtenue ».