Transient and end silicide phase formation in thin film Ni/polycrystalline-Si reactions for fully silicided gate applications
Pourquoi ce travail est dans la base
Une base qui oublie comment elle a trouvé un travail ne peut pas être vérifiée. Voici les voies qui ont admis celui-ci.
Notice bibliographique
Résumé
The Ni/polycrystalline-Si thin film reaction was monitored by in situ x-ray diffraction during ramp annealings, obtaining a detailed view of the formation and evolution of silicide phases in stacks of interest for fully silicided gate applications. Samples consisted of Ni (30–170nm)/polycrystalline-Si (100nm)∕SiO2 (10–30nm) stacks deposited on (100) Si. The dominant end phase (after full silicidation) was found to be well controlled by the deposited Ni to polycrystalline-Si thickness ratio (tNi∕tSi), with formation of NiSi2 (∼600°C), NiSi (∼400°C), Ni3Si2 (∼500°C), Ni2Si, Ni31Si12 (∼420°C), and Ni3Si (∼600°C) in stacks with tNi∕tSi of 0.3, 0.6, 0.9, 1.2, 1.4, and 1.7, respectively. NiSi and Ni31Si12 were observed to precede formation of NiSi2 and Ni3Si, respectively, as expected for the phase sequence conventionally reported. Formation of Ni2Si was observed at early stages of the reaction. These studies revealed, in addition, the formation of transient phases that appeared and disappeared in narrow temperature ranges, competing with formation of the phases expected in the conventional phase sequence. These included the transient formation of NiSi and Ni31Si12 in stacks in which these phases are not expected to form (e.g., tNi∕tSi of 1.7 and 0.9, respectively), at temperatures similar to those in which these phases normally grow.
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Prédiction distillée sur la base complète
Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Apprise à partir de 10 348 étiquettes directes de Codex et de 10 348 étiquettes directes de Gemma. Le mode candidate est l'union des têtes enseignantes seuillées; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont ni des étiquettes humaines ni des étiquettes directes de modèles de pointe.
Scores Codex et Gemma par catégorie
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,000 | 0,000 |
| Bibliométrie | 0,000 | 0,000 |
| Études des sciences et des technologies | 0,000 | 0,000 |
| Communication savante | 0,000 | 0,000 |
| Science ouverte | 0,000 | 0,000 |
| Intégrité de la recherche | 0,000 | 0,000 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,000 | 0,000 |
Scores machine (provisoires)
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