Positive and Negative Photolithographic Deposition of Titanium Dioxide from Photosensitive Titanium Complexes
Pourquoi ce travail est dans la base
Une base qui oublie comment elle a trouvé un travail ne peut pas être vérifiée. Voici les voies qui ont admis celui-ci.
Notice bibliographique
Résumé
Lithographic deposition of titanium oxide films using photochemical metal organic deposition from titanium (IV) complexes is demonstrated in this paper. In this paper we explore the chemistry of thin films of titanium (IV) di-n-butoxide bis(2-ethylhexanoate), titanium (IV) di-n-butoxide bis(2-ethyl-2-hydroxybutyrate), titanium (IV) diisopropoxide bis(2,4-pentanedionate), and titanium (IV) diisopropoxide bis(ethyl acetoacetate). These complexes could all be prepared by ligand exchange reaction from the appropriate precursors. Thin films of each of these compounds could be cast by spin coating from solutions. All the complexes underwent photodecomposition to form titanium dioxide films although only titanium (IV) di-n-butoxide bis(2-ethylhexanoate) did so without the formation of an intermediate. Since all of the precursors were soluble negative lithography resulted in the direct deposition of titanium dioxide from these precursors. In contrast we were only able to demonstrate positive lithography on all the films except those constructed from titanium (IV) di-n-butoxide bis(2-ethylhexanoate). Positive lithography was conducted by exposing a region developing to remove film in the exposed regions followed by blanket exposure to convert the remaining regions to titanium dioxide. Patterns of titanium oxide with a feature size of 1 micron and a resolution of 1 micron were routinely achieved by both positive and negative photolithography. These precursors are also potential candidates for deep UV lithography in fabricating features of sub-50 nanometres.
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Prédiction distillée sur la base complète
Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Apprise à partir de 10 348 étiquettes directes de Codex et de 10 348 étiquettes directes de Gemma. Le mode candidate est l'union des têtes enseignantes seuillées; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont ni des étiquettes humaines ni des étiquettes directes de modèles de pointe.
Scores Codex et Gemma par catégorie
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,000 | 0,000 |
| Bibliométrie | 0,001 | 0,001 |
| Études des sciences et des technologies | 0,000 | 0,002 |
| Communication savante | 0,000 | 0,000 |
| Science ouverte | 0,000 | 0,000 |
| Intégrité de la recherche | 0,000 | 0,000 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,000 | 0,000 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
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score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découle