Structural and elastic characterization of Cu-implanted SiO2 films on Si(100) substrates
Notice bibliographique
Résumé
Cu-implanted SiO2 films on Si(100) have been studied and compared to unimplanted SiO2 on Si(100) using x-ray methods, transmission electron microscopy, Rutherford backscattering, and Brillouin spectroscopy. The x-ray results indicate the preferred orientation of Cu {111} planes parallel to the Si substrate surface without any directional orientation for Cu-implanted SiO2∕Si(100) and for Cu-implanted and annealed SiO2∕Si(100). In the latter case, transmission electron microscopy reveals the presence of spherical nanocrystallites with an average size of ∼2.5 nm. Rutherford backscattering shows that these crystallites (and the Cu in the as-implanted film) are largely confined to depths of 0.4−1.2 μm below the film surface. Brillouin spectra contain peaks due to surface, film-guided and bulk acoustic modes. Surface (longitudinal) acoustic wave velocities for the implanted films were ∼7% lower (∼2% higher) than for unimplanted SiO2∕Si(100). Elastic constants were estimated from the acoustic wave velocities and film densities. C11 (C44) for the implanted films was ∼10% higher (lower) than that for the unimplanted film. The differences in acoustic velocities and elastic moduli are ascribed to implantation-induced compaction and/or the presence of Cu in the SiO2 film.
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Comment cette classification a été obtenuedéplier
Prédiction distillée sur la base complète
Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Apprise à partir de 10 348 étiquettes directes de Codex et de 10 348 étiquettes directes de Gemma. Le mode candidate est l'union des têtes enseignantes seuillées; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont ni des étiquettes humaines ni des étiquettes directes de modèles de pointe.
Scores Codex et Gemma par catégorie
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,000 | 0,000 |
| Bibliométrie | 0,000 | 0,000 |
| Études des sciences et des technologies | 0,000 | 0,000 |
| Communication savante | 0,000 | 0,000 |
| Science ouverte | 0,000 | 0,000 |
| Intégrité de la recherche | 0,000 | 0,000 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,000 | 0,000 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.
score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découleClassification
machine, non validéePrédiction automatique; un appel candidat d’une seule tête enseignante, pas un consensus.
Le détail, modèle par modèle et score par score, se trouve en fin de page sous « Comment cette classification a été obtenue ».