Characterization of a Multilayered SAW Pressure Sensor with Low Temperature Variability
Notice bibliographique
Résumé
A method to reduce temperature effects in SAW pressure sensors is presented. A layer of SiO2 is deposited on the surface of 128YX LiNbO3 in order to achieve a high coupling coefficient (κ 2 ) as well as a low temperature coefficient of delay (TCD). The FEM tool COMSOL Multiphysics is used to estimate the phase velocity and frequency of the input RF signal using an eigenfrequency analysis. Then by using a time domain analysis, a surface acoustic wave (SAW) is generated by IDTs and its wave propagation characteristics are obtained. During this process, the boundary reflection is removed by adding a perfectly matched layer (PML). The reflected signal on the IDT can be detected; as such the phase angle is calculated. By applying different pressures to the sensor, a relationship between pressure and phase angle is determined. Using frequency domain analysis, the coupling coefficient is computed with high accuracy. The TCD is calculated at different SiO2 thicknesses and the SiO2 thickness corresponding to a zero TCD and high coupling coefficient is obtained. A prototype is tested to validate these values.
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Comment cette classification a été obtenuedéplier
Prédiction distillée sur la base complète
Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Apprise à partir de 10 348 étiquettes directes de Codex et de 10 348 étiquettes directes de Gemma. Le mode candidate est l'union des têtes enseignantes seuillées; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont ni des étiquettes humaines ni des étiquettes directes de modèles de pointe.
Scores Codex et Gemma par catégorie
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,000 | 0,000 |
| Bibliométrie | 0,000 | 0,000 |
| Études des sciences et des technologies | 0,000 | 0,000 |
| Communication savante | 0,000 | 0,000 |
| Science ouverte | 0,000 | 0,000 |
| Intégrité de la recherche | 0,000 | 0,000 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,000 | 0,000 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.
score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découleClassification
machine, non validéePrédiction automatique; un appel candidat d’une seule tête enseignante, pas un consensus.
Le détail, modèle par modèle et score par score, se trouve en fin de page sous « Comment cette classification a été obtenue ».