Residual Stress, Defects, and Electrical Properties of Epitaxial Copper Growth on GaAs
Notice bibliographique
Résumé
The residual stress in Cu films epitaxially grown on GaAs(001) single crystalline substrates has been compared to polycrystalline Cu growth on (111) textured Au substrates, both grown via the same galvanostatic electrodeposition process. Optimized epitaxial nucleation and growth was obtained with a substrate pre-etch in dilute ammonium-hydroxide followed by electrodeposition in a pure Cu sulfate aqueous electrolyte at elevated temperatures. The resulting films are single crystalline, and strain relaxed, as measured by X-ray and electron diffraction. The (001) surfaces developed square pyramidal facets that increase in average size with increasing current density. In situ wafer curvature measurements found that the films followed the commonly observed change from compressive to tensile and finally to compressive stress that quickly relaxed once growth was interrupted. In contrast, polycrystalline films developed a smaller and constant tensile stress that relaxed more slowly. Given the similar growth rates of the two systems, differences in residual stress are related to differences in the density and nature of the coalescence boundaries and associated surface adatom processes. The resulting electrical properties of diodes show an interfacial capacitance that is consistent with interdiffusion and the reaction layer detected by electron microscopy.
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Comment cette classification a été obtenuedéplier
Prédiction distillée sur la base complète
Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Apprise à partir de 10 348 étiquettes directes de Codex et de 10 348 étiquettes directes de Gemma. Le mode candidate est l'union des têtes enseignantes seuillées; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont ni des étiquettes humaines ni des étiquettes directes de modèles de pointe.
Scores Codex et Gemma par catégorie
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,000 | 0,000 |
| Bibliométrie | 0,000 | 0,000 |
| Études des sciences et des technologies | 0,000 | 0,000 |
| Communication savante | 0,000 | 0,000 |
| Science ouverte | 0,000 | 0,000 |
| Intégrité de la recherche | 0,000 | 0,000 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,000 | 0,000 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.
score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découleClassification
machine, non validéePrédiction automatique; un appel candidat d’une seule tête enseignante, pas un consensus.
Le détail, modèle par modèle et score par score, se trouve en fin de page sous « Comment cette classification a été obtenue ».