Measurements of sputtered neutrals and ions and investigation of their roles on the plasma properties during rf magnetron sputtering of Zn and ZnO targets
Notice bibliographique
Résumé
Langmuir probe and optical absorption spectroscopy measurements were used to determine the line-integrated electron density, electron temperature, and number density of Ar atoms in metastable 3P2 and 3P0 levels in a 5 mTorr, rf magnetron sputtering plasmas used for the deposition of ZnO-based thin films. While the average electron energy and density of Ar atoms in 3P2 and 3P0 excited states were fairly independent of self-bias voltage, the Ar 3P2-to-electron number density ratio decreased by approximately a factor of 5 when going from −115 V to −300 V. This decrease was correlated to an increase by about one order of magnitude of the number density of sputtered Zn atoms determined by absolute actinometry measurements on Zn I using either Ar or Xe as the actinometer gas. These results were also found to be in excellent agreement with the predictions of a global model accounting for Penning ionization of sputtered Zn particles. The importance of the latter reactions was further confirmed by plasma sampling mass spectrometry showing a double peak structure for Zn ions: a low-energy component ascribed to thermalized ions created in the gas phase (by direct electron impact and by Penning ionization) and a high-energy tail due to ions ejected from the target and reaching quasi-collisionlessly the substrate surface.
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Comment cette classification a été obtenuedéplier
Prédiction distillée sur la base complète
Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Apprise à partir de 10 348 étiquettes directes de Codex et de 10 348 étiquettes directes de Gemma. Le mode candidate est l'union des têtes enseignantes seuillées; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont ni des étiquettes humaines ni des étiquettes directes de modèles de pointe.
Scores Codex et Gemma par catégorie
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,001 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,000 | 0,000 |
| Bibliométrie | 0,000 | 0,000 |
| Études des sciences et des technologies | 0,000 | 0,003 |
| Communication savante | 0,000 | 0,001 |
| Science ouverte | 0,000 | 0,000 |
| Intégrité de la recherche | 0,000 | 0,000 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,000 | 0,000 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.
score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découleClassification
machine, non validéePrédiction automatique; un appel candidat d’une seule tête enseignante, pas un consensus.
Le détail, modèle par modèle et score par score, se trouve en fin de page sous « Comment cette classification a été obtenue ».