Low- and High-Frequency Pulse Current and Pulse Reverse Plating of Copper
Notice bibliographique
Résumé
A model for galvanostatic pulse plating via pulse current (PC) and pulse reverse (PR) modes has been developed and compared with experimentally obtained electrode responses during copper deposition from a solution onto a rotating disk electrode. In addition to all forms of mass transport, electrode kinetics, and homogeneous reactions, the model incorporates capacitance effects due to double-layer charging and adsorption of an intermediate. Two important modifications from our previous model have been made: fully transient rather than steady-state electrode kinetics and a series rather than parallel connection between the adsorption pseudocapacitance and faradaic reactions. The model provides excellent quantitative agreement with the experimental results for both PR and PC plating for the entire range of conditions studied and shows considerable improvement over the previous version, particularly for PR plating. Fitting the model to some of the experimental data reveals that the double-layer capacity varies inversely with the square root of frequency for pulses of 500 Hz or more. Electrode responses do not totally become dc-like at frequencies as high as 50 kHz. Furthermore, at high enough frequencies (⩾5 kHz) during PR plating, the electrode potentials do not rise above the open-circuit potential during the reverse-time, indicating that copper dissolution does not occur and leading to a response similar to that observed during high-frequency PC plating. © 2003 The Electrochemical Society. All rights reserved.
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Comment cette classification a été obtenuedéplier
Prédiction distillée sur la base complète
Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Apprise à partir de 10 348 étiquettes directes de Codex et de 10 348 étiquettes directes de Gemma. Le mode candidate est l'union des têtes enseignantes seuillées; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont ni des étiquettes humaines ni des étiquettes directes de modèles de pointe.
Scores Codex et Gemma par catégorie
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,000 | 0,000 |
| Bibliométrie | 0,000 | 0,000 |
| Études des sciences et des technologies | 0,000 | 0,000 |
| Communication savante | 0,000 | 0,000 |
| Science ouverte | 0,000 | 0,000 |
| Intégrité de la recherche | 0,000 | 0,001 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,000 | 0,000 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.
score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découleClassification
machine, non validéePrédiction automatique; un appel candidat d’une seule tête enseignante, pas un consensus.
Le détail, modèle par modèle et score par score, se trouve en fin de page sous « Comment cette classification a été obtenue ».