Thick Epitaxial Layers on 4º Off-Oriented 4H-SiC Suited for PiN-Diodes with Blocking Voltages above 6.5 kV
Notice bibliographique
Résumé
This work presents results on the growth of thick epitaxial layers on 4° off-oriented 4HSiC in a commercially available hot-wall CVD system. Results on background doping level, homogeneity of thickness and doping, and run-to-run reproducibility will be shown. Defect structures we observed on 4° off-oriented substrates only are discussed. AFM measurements are presented to show the degree of step-bunching. 6.5 kV PiN-diodes with an active device area of 5.7 mm2 were fabricated and electrically characterized. In spite of the surface defects and stepbunching, up to 50% of the devices per wafer fulfilled our strict yield criteria even at 6.5 kV. Up to the onset of avalanche, the devices exhibited extremely low leakage currents. These results turn the cheaper 4° off-oriented substrates into a promising choice for producing higher volumes of highvoltage SiC power devices at reasonable costs.
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Comment cette classification a été obtenuedéplier
Prédiction distillée sur la base complète
Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Apprise à partir de 10 348 étiquettes directes de Codex et de 10 348 étiquettes directes de Gemma. Le mode candidate est l'union des têtes enseignantes seuillées; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont ni des étiquettes humaines ni des étiquettes directes de modèles de pointe.
Scores Codex et Gemma par catégorie
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,000 | 0,000 |
| Bibliométrie | 0,000 | 0,001 |
| Études des sciences et des technologies | 0,000 | 0,001 |
| Communication savante | 0,000 | 0,000 |
| Science ouverte | 0,001 | 0,000 |
| Intégrité de la recherche | 0,000 | 0,000 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,000 | 0,000 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.
score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découleClassification
machine, non validéePrédiction automatique; un appel candidat d’une seule tête enseignante, pas un consensus.
Le détail, modèle par modèle et score par score, se trouve en fin de page sous « Comment cette classification a été obtenue ».