High Performance MEMS Thermal Gyroscope
Notice bibliographique
Résumé
This paper reports modeling a new design of Thermal MEMS gyroscope through the use of the Comsol Multiphysics software package. Being very small and having no movable parts have made thermal MEMS gyroscope very practical. Previously designed Thermal MEMS gyroscope shows some limitation such as being vulnerable to gravity force. Finding a technique to increase the range of thermal MEMS gyroscope reliability motivated us to come up with a new design that we will refer to as the ‘Forced Convection MEMS gyroscope’. A two-dimensional finite-element model of the device has been developed to investigate its performance. An external force has been introduced to the system to create a higher-velocity hot gas stream that will be deviated more in response to rotation. The external force should be great enough that convection currents resulting from gravity or acceleration will have minimal impact on the gyroscope sensitivity. A heating element can still be used, but its primary purpose is now to warm the flowing gas so that it can be detected by the sensors. In this paper we will also show that, in order to completely eliminate the impact of gravity and increase the sensitivity of the gyroscope, it is possible to eliminate the heaters entirely and instead use heated sensors to detect gas currents. In other words, the sensors are working as hot-wire anemometers. Our simulations suggest that this design variant results in higher sensitivity. We have also carried out optimization studies to identify the best location for the heaters and sensors. A prototype of this device has been fabricated based on MEMS techniques, and an external pump is used to produce an oscillating gas flow within the device.
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Comment cette classification a été obtenuedéplier
Prédiction distillée sur la base complète
Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Apprise à partir de 10 348 étiquettes directes de Codex et de 10 348 étiquettes directes de Gemma. Le mode candidate est l'union des têtes enseignantes seuillées; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont ni des étiquettes humaines ni des étiquettes directes de modèles de pointe.
Scores Codex et Gemma par catégorie
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,000 | 0,000 |
| Bibliométrie | 0,000 | 0,000 |
| Études des sciences et des technologies | 0,000 | 0,000 |
| Communication savante | 0,000 | 0,000 |
| Science ouverte | 0,000 | 0,000 |
| Intégrité de la recherche | 0,000 | 0,000 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,000 | 0,000 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.
score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découleClassification
machine, non validéePrédiction automatique; un appel candidat d’une seule tête enseignante, pas un consensus.
Le détail, modèle par modèle et score par score, se trouve en fin de page sous « Comment cette classification a été obtenue ».