Electrode fabrication for high-speed polarization mode converter
Notice bibliographique
Résumé
As part of the development of a traveling wave polarization converter (TWPC), a technique for producing “T-electrodes” adjacent to the ridge sidewalls and air bridges has been developed. To maximize the conversion efficiency, the rf electrodes on the etched floor are required to be very close to the ridge sidewalls. In the fabrication of the electrode, patterned seed layer stripes were first put on the etched floor on both sides of the waveguide by a metal lift-off process. Onto this seed layer, the T-electrode was electroplated through a patterned thick photoresist. After resist removal, the unwanted seed layer was stripped off by chemical etch back. Through this multistep process, the electrodes were constructed successfully with the desired proximity to the ridge waveguide. For easy chip assembly, the bond pads were designed to be on the same side of the device. Two long and wide metal air bridges over the ridge waveguide were made to connect the electrode on one side to the bond pads on the other side of the ridge. It was found that the air bridges were easily damaged in the bonding process prior to lap and polish because of the particular device structure, i.e., air bridges being the highest point of the wafer and only a small number of air bridges on the wafer. To protect the air bridge a patterned photoresist layer was applied before the wafer was bonded to a carrier.
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Comment cette classification a été obtenuedéplier
Prédiction machine sur la base complète
Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Le volet Gemma est une étiquette directe du modèle pour chaque travail de la base, lue sur la notice réduite au titre. Le volet Codex est un classifieur appris des 10 348 étiquettes directes de Codex et calibré sur les taux pondérés de l'échantillon; les champs sans appui suffisant ne portent aucun appel Codex. Le mode candidate est l'union des deux volets; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont pas des étiquettes humaines.
Scores du classifieur distillé par catégorie (deux têtes)
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,000 | 0,001 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,000 | 0,000 |
| Bibliométrie | 0,000 | 0,000 |
| Études des sciences et des technologies | 0,000 | 0,000 |
| Communication savante | 0,000 | 0,000 |
| Science ouverte | 0,001 | 0,000 |
| Intégrité de la recherche | 0,001 | 0,001 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,003 | 0,002 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.
score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découleClassification
machine, non validéePrédiction automatique; un appel candidat d’une seule source (Gemma direct ou Codex distillé), pas un consensus.
Le détail, modèle par modèle et score par score, se trouve en fin de page sous « Comment cette classification a été obtenue ».