Microfabrication services at INO
Notice bibliographique
Résumé
MEMS (Micro Electro Mechanical Systems) technology has expanded widely over the last decade in terms of its use in devices and instrumentation for diverse applications. However, access to versatile foundry services for MEMS fabrication is still limited. At INO, the presence of a multidisciplinary team and a complete tool set allow us to offer unique MEMS foundry-type services. These services include: design, prototyping, fabrication, packaging and testing of various MEMS and MOEMS devices. The design of a device starts with the evaluation of different structures adapted to a given application. Computer simulation tools, like IntelliSuite, ANSYS or custom software are used to evaluate the mechanical, optical, thermal and electromechanical performances. Standard IC manufacturing techniques such as metal, dielectric and semiconductor film deposition and etching as well as photolithographic pattern transfer are available. In addition, some unique techniques such as on-wafer lithography by laser writing, gray-scale mask lithography, thick photoresist lithography, selective electroplating, injection moulding and UV-assisted moulding are available to customers. The hermetic packaging and a novel patented wafer-level micropackaging are also applied. This multifaceted expertise has been utilized to manufacturing of several types of MEMS devices as well as complex instruments including micromirror-type devices, microfilters, IR microbolometric detector arrays, complete cameras and multipurpose sensors.
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Comment cette classification a été obtenuedéplier
Prédiction machine sur la base complète
Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Le volet Gemma est une étiquette directe du modèle pour chaque travail de la base, lue sur la notice réduite au titre. Le volet Codex est un classifieur appris des 10 348 étiquettes directes de Codex et calibré sur les taux pondérés de l'échantillon; les champs sans appui suffisant ne portent aucun appel Codex. Le mode candidate est l'union des deux volets; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont pas des étiquettes humaines.
Scores du classifieur distillé par catégorie (deux têtes)
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,001 | 0,002 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,002 | 0,001 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,001 | 0,001 |
| Bibliométrie | 0,002 | 0,001 |
| Études des sciences et des technologies | 0,001 | 0,000 |
| Communication savante | 0,001 | 0,001 |
| Science ouverte | 0,002 | 0,003 |
| Intégrité de la recherche | 0,001 | 0,001 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,418 | 0,288 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.
score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découleClassification
machine, non validéePrédiction automatique; un appel candidat d’une seule source (Gemma direct ou Codex distillé), pas un consensus.
Le détail, modèle par modèle et score par score, se trouve en fin de page sous « Comment cette classification a été obtenue ».