Dopant Diffusion in Si<sub>1-x</sub>Ge<sub>x</sub> Thin Films: Effect of Epitaxial Stress
Notice bibliographique
Résumé
We have investigated the lattice diffusion of B and Sb by means of molecular beam epitaxy in Si1−xGex (x < 0.2) layers grown on Si(001) substrate. Using Si1−xGex relaxed buffers we were able to differentiate the chemical effect (change in the Ge composition) as opposite to the biaxial stress effect (due to the epitaxy on Si) on dopant diffusion. B diffusion follows a behavior opposite to Sb diffusion versus Ge composition and biaxial stress. These results are explained in view of the difference of diffusion mechanism between B (interstitials) and Sb (vacancies). We also show that dopant diffusion follows contrasting behaviors under biaxial pressure and hydrostatic pressure, and that the activation volume of dopant diffusion is of opposite sign for biaxial pressure and for hydrostatic pressure. This is explained using a formalism based on the extra work done by the system for diffusion under pressure, concluding that for biaxial stress the activation volume depends mainly on the relaxation volume linked to the defect formation.
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Comment cette classification a été obtenuedéplier
Prédiction distillée sur la base complète
Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Apprise à partir de 10 348 étiquettes directes de Codex et de 10 348 étiquettes directes de Gemma. Le mode candidate est l'union des têtes enseignantes seuillées; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont ni des étiquettes humaines ni des étiquettes directes de modèles de pointe.
Scores Codex et Gemma par catégorie
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,003 | 0,001 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,003 | 0,003 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,004 | 0,001 |
| Bibliométrie | 0,002 | 0,002 |
| Études des sciences et des technologies | 0,002 | 0,001 |
| Communication savante | 0,001 | 0,002 |
| Science ouverte | 0,002 | 0,008 |
| Intégrité de la recherche | 0,002 | 0,002 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,000 | 0,000 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.
score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découleClassification
machine, non validéePrédiction automatique; les deux têtes enseignantes s’accordent sur ce qui est montré ici.
Le détail, modèle par modèle et score par score, se trouve en fin de page sous « Comment cette classification a été obtenue ».