Ion-implanted PERC Solar Cells with Al2O3/SiNx Rear Passivation
Notice bibliographique
Résumé
Ion implantation is an attractive candidate for PERC solar cells due to the single-sided emitter phosphorus doping. The oxide, which is formed during the implant anneal, can be used as rear passivation of PERC cells. However, the SiO 2 /SiN x rear passivation is very sensitive to the rear surface roughness and surface preparation. Hence, in this paper we evaluate Al 2 O 3 /SiN x rear passivation layers in combination with an oxide passivated ion-implanted emitter. We obtain emitter saturation current densities of 93 fA/cm 2 , which is significantly lower compared to a typical POCl 3 diffused emitter with 140 fA/cm 2 . Ion-implanted PERC cells with Al 2 O 3 /SiN x rear passivation show conversion efficiencies up to 20.0% which is comparable to POCl 3 -diffused PERC cells. The emitter dopant profile can be adjusted by the thermal budget of the anneal in order to optimize the process window between J sc and FF losses. The IQE and reflectance of implanted and POCl 3 -diffused PERC cells in the long wavelength regime are almost identical which demonstrates the successful implementation of the Al 2 O 3 /SiN x rear passivation to PERC cells with ion-implanted emitters. Future work will focus on simplifying the process flow in order to obtain a lean industrially manufacturable PERC process, leveraging the single side doping via ion implantation.
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Comment cette classification a été obtenuedéplier
Prédiction machine sur la base complète
Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Le volet Gemma est une étiquette directe du modèle pour chaque travail de la base, lue sur la notice réduite au titre. Le volet Codex est un classifieur appris des 10 348 étiquettes directes de Codex et calibré sur les taux pondérés de l'échantillon; les champs sans appui suffisant ne portent aucun appel Codex. Le mode candidate est l'union des deux volets; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont pas des étiquettes humaines.
Scores du classifieur distillé par catégorie (deux têtes)
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,000 | 0,000 |
| Bibliométrie | 0,000 | 0,000 |
| Études des sciences et des technologies | 0,000 | 0,000 |
| Communication savante | 0,000 | 0,000 |
| Science ouverte | 0,000 | 0,000 |
| Intégrité de la recherche | 0,000 | 0,000 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,001 | 0,001 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.
score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découleClassification
machine, non validéePrédiction automatique; un appel candidat d’une seule source (Gemma direct ou Codex distillé), pas un consensus.
Le détail, modèle par modèle et score par score, se trouve en fin de page sous « Comment cette classification a été obtenue ».