Influence of Substrate Preparation and Epitaxial Growth Parameters on the Dislocation Densities in 4H-SiC Epitaxial Layers
Notice bibliographique
Résumé
Basal Plane Dislocations (BPD) in SiC are thought to cause degradation of bipolar devices as they can trigger the formation and expansion of stacking faults during device operation. Therefore, epilayers without any BPD are strongly recommended for the achievement of long-term reliable bipolar devices. Such epilayers can be achieved by supporting the conversion of BPD into Threading Dislocations (TD), which depends on the epitaxial growth mode (as described in literature). In this work, the influence of several pre-treatments of the SiC substrate prior to epitaxial growth and different epitaxial growth parameters on the reduction of the BPDs in the SiC epilayers was investigated on 4° off-axis substrates. The dislocation content in substrates and epilayers was determined by Defect Selective Etching (DSE) in molten KOH. The averaged BPD density in epitaxial layers can be reduced to < 100 cm-2 for substrate preparation techniques and to < 30 cm-2 for well-suited epitaxial growth parameters. A certain combination of epitaxial growth parameters leads to < 3 BPD/cm2 in the epitaxial layer.
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Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Apprise à partir de 10 348 étiquettes directes de Codex et de 10 348 étiquettes directes de Gemma. Le mode candidate est l'union des têtes enseignantes seuillées; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont ni des étiquettes humaines ni des étiquettes directes de modèles de pointe.
Scores Codex et Gemma par catégorie
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,000 | 0,000 |
| Bibliométrie | 0,000 | 0,000 |
| Études des sciences et des technologies | 0,000 | 0,001 |
| Communication savante | 0,000 | 0,000 |
| Science ouverte | 0,000 | 0,000 |
| Intégrité de la recherche | 0,000 | 0,000 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,000 | 0,000 |
Scores machine (provisoires)
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score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découleClassification
machine, non validéePrédiction automatique; un appel candidat d’une seule tête enseignante, pas un consensus.
Le détail, modèle par modèle et score par score, se trouve en fin de page sous « Comment cette classification a été obtenue ».