Interfacial reactions in epitaxial Al/TiN(111) model diffusion barriers: Formation of an impervious self-limited wurtzite-structure AIN(0001) blocking layer
Notice bibliographique
Résumé
Single-crystal TiN(111) layers, 45 nm thick, were grown on MgO(111) by ultrahigh vacuum reactive magnetron sputter deposition in pure N2 discharges at Ts=700 °C. Epitaxial Al(111) overlayers, 160 nm thick, were then deposited at Ts=100 °C in Ar without breaking vacuum. Interfacial reactions and changes in bilayer microstructure due to annealing at 620 and 650 °C were investigated using x-ray diffraction and transmission electron microscopy (TEM). The interfacial regions of samples annealed at 620 °C consist of continuous ≃7-nm-thick epitaxial wurtzite-structure AlN(0001) layers containing a high density of stacking faults, with ≃22 nm thick tetragonal Al3Ti(112) overlayers. Surprisingly, samples annealed at the higher temperature are more stable against Al3Ti formation. TEM analyses of bilayers annealed at 650 °C (10 °C below the Al melting point!) reveal only the self-limited growth of an ≃3-nm-thick interfacial layer of perfect smooth epitaxial wurtzite-structure AlN(0001) which serves as an extremely effective deterrent for preventing further interlayer reactions.
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Comment cette classification a été obtenuedéplier
Prédiction machine sur la base complète
Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Le volet Gemma est une étiquette directe du modèle pour chaque travail de la base, lue sur la notice réduite au titre. Le volet Codex est un classifieur appris des 10 348 étiquettes directes de Codex et calibré sur les taux pondérés de l'échantillon; les champs sans appui suffisant ne portent aucun appel Codex. Le mode candidate est l'union des deux volets; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont pas des étiquettes humaines.
Scores du classifieur distillé par catégorie (deux têtes)
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,000 | 0,000 |
| Bibliométrie | 0,000 | 0,000 |
| Études des sciences et des technologies | 0,000 | 0,000 |
| Communication savante | 0,000 | 0,000 |
| Science ouverte | 0,000 | 0,000 |
| Intégrité de la recherche | 0,000 | 0,000 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,001 | 0,000 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.
score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découleClassification
machine, non validéePrédiction automatique; un appel candidat d’une seule source (Gemma direct ou Codex distillé), pas un consensus.
Le détail, modèle par modèle et score par score, se trouve en fin de page sous « Comment cette classification a été obtenue ».