Thin film composition determination by means of integrated intensity measurements
Notice bibliographique
Résumé
A new method based on measurement of the absorption of an x-ray beam diffracted from a substrate has been used to determine the film composition in an InGaAs/InP nearly-lattice-matched single heterostructure. The absorption coefficient, μ InGaAs , of the InGaAs alloy was obtained by accurately measuring the InGaAs layer thickness and the integrated intensities of several diffractions of the InP substrate compared with the integrated intensities of the equivalent peaks of an InP reference crystal. By using the tabulated Ga, As and In absorption factors, the In content was then determined. It is shown that in the case of an InGaAs alloy the accuracy in In content determination can reach 1%. The absolute In content of the InGaAs epilayer was found to be 4%–5% larger than expected from the linear dependence of the lattice parameter on the alloy composition as stated by the Vegard law. This result has been confirmed by a diffraction profile auto-fitting software; with the assumption of the Vegard law the best fit of the 004 diffraction profile of the InGaAs/InP heterostructure could only be obtained with a 4.6% larger InGaAs thickness, to compensate for the larger In content as determined by the absorption measurement.
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Comment cette classification a été obtenuedéplier
Prédiction machine sur la base complète
Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Le volet Gemma est une étiquette directe du modèle pour chaque travail de la base, lue sur la notice réduite au titre. Le volet Codex est un classifieur appris des 10 348 étiquettes directes de Codex et calibré sur les taux pondérés de l'échantillon; les champs sans appui suffisant ne portent aucun appel Codex. Le mode candidate est l'union des deux volets; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont pas des étiquettes humaines.
Scores du classifieur distillé par catégorie (deux têtes)
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,000 | 0,001 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,001 | 0,001 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,001 | 0,000 |
| Bibliométrie | 0,002 | 0,001 |
| Études des sciences et des technologies | 0,000 | 0,000 |
| Communication savante | 0,001 | 0,001 |
| Science ouverte | 0,001 | 0,000 |
| Intégrité de la recherche | 0,000 | 0,001 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,002 | 0,001 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.
score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découleClassification
machine, non validéePrédiction automatique; un appel candidat d’une seule source (Gemma direct ou Codex distillé), pas un consensus.
Le détail, modèle par modèle et score par score, se trouve en fin de page sous « Comment cette classification a été obtenue ».