Dry etch fabrication of ultra-thin porous silicon membranes
Notice bibliographique
Résumé
Porous silicon is a well-known material with interesting properties for a wide variety of applications in electronics, photonics, medicine, and informatics. We demonstrate fabrication of porous silicon using a dry etching technique. We demonstrate free standing porous silicon membranes that are only few microns thick. Free standing porous silicon membranes have the ability to behave as a size-selective permeable membrane by allowing specific sized molecules to pass through while retaining others. Here, we employ the XeF2 to develop few micrometers thick suspended porous silicon membranes. The flexibility of XeF2 etching process allows the production of mechanically stable membranes of different thicknesses. By choosing the appropriate etching parameters and conditions, pore size can be tuned to produce porous silicon with optically attractive features and desired optical behaviors. The pore size, porosity and thickness of the various developed ultra-thin free-standing porous silicon membranes were characterized with scanning electron microscopy and optical transmittance measurements. The fabricated free-standing porous membrane has a typical transmission spectrum of regular silicon modulated by Fabry-Perot fringes. Porous silicon thin membranes that combine the properties of a mechanically and chemically stable high surface area matrix with the function of an optical transducer may find many used in biomedical microdevices.
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Comment cette classification a été obtenuedéplier
Prédiction machine sur la base complète
Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Le volet Gemma est une étiquette directe du modèle pour chaque travail de la base, lue sur la notice réduite au titre. Le volet Codex est un classifieur appris des 10 348 étiquettes directes de Codex et calibré sur les taux pondérés de l'échantillon; les champs sans appui suffisant ne portent aucun appel Codex. Le mode candidate est l'union des deux volets; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont pas des étiquettes humaines.
Scores du classifieur distillé par catégorie (deux têtes)
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,000 | 0,000 |
| Bibliométrie | 0,000 | 0,000 |
| Études des sciences et des technologies | 0,000 | 0,000 |
| Communication savante | 0,000 | 0,000 |
| Science ouverte | 0,001 | 0,001 |
| Intégrité de la recherche | 0,001 | 0,001 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,001 | 0,000 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.
score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découleClassification
machine, non validéePrédiction automatique; un appel candidat d’une seule source (Gemma direct ou Codex distillé), pas un consensus.
Le détail, modèle par modèle et score par score, se trouve en fin de page sous « Comment cette classification a été obtenue ».