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Enregistrement W2064082583 · doi:10.1063/1.3574658

Characterization of a low-pressure chlorine plasma column sustained by propagating surface waves using phase-sensitive microwave interferometry and trace-rare-gas optical emission spectroscopy

2011· article· en· W2064082583 sur OpenAlexaff
S. Mattei, Olivier Boudreault, Rohit Khare, Luc Stafford, Vincent M. Donnelly

Notice bibliographique

RevueJournal of Applied Physics · 2011
Typearticle
Langueen
DomaineEngineering
ThématiquePlasma Diagnostics and Applications
Établissements canadiensUniversité de Montréal
Organismes subventionnairesnon disponible
Mots-clésPlasmaPlasma diagnosticsAtomic physicsTorrAnalytical Chemistry (journal)Electron densityChemistrySpectroscopyElectron temperatureMicrowaveMaterials scienceIonPhysics

Résumé

récupéré en direct d'OpenAlex

Phase-sensitive microwave interferometry and trace-rare-gas optical emission spectroscopy were used to measure the line-integrated electron density, ne, and electron temperature, Te, in a high-density chlorine plasma sustained in a quartz discharge tube (inner diameter = 6 mm) by an electromagnetic surface wave at 2.45 GHz. For pressures in the 0.1–1 Torr range, ne decreased nearly linearly along the tube’s z-axis down to the critical density for surface wave propagation, where the plasma decayed abruptly. At lower pressures (< 50 mTorr), however, the plasma extended well beyond this critical point, after which ne decreased quasiexponentially toward the end of the plasma column. The length of this expansion region increased with decreasing pressure, going from ∼8 cm at 5 mTorr to ∼1 cm at 50 mTorr. Te was nearly independent of the axial position in the main plasma region and strongly decreased in the expansion region at lower pressures. The Cl2 percent dissociation, τD, obtained from the calibrated Cl2 (306 nm)-to-Xe (828 nm) emission ratio, displayed behavior similar to that of ne and Te. For example, at 5 mTorr, τD was close to 100% near the wave launcher and ∼70% at 0.5 cm from the end of the plasma column.

Récupéré en direct depuis OpenAlex et désinversé. Les résumés ne sont pas conservés dans cette base de données : les index inversés représentent 8,6 Go des 9,3 Go de texte de la base, et le serveur dispose de 13 Go libres.

Comment cette classification a été obtenuedéplier

Prédiction distillée sur la base complète

Imitation des enseignants

Ni prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Apprise à partir de 10 348 étiquettes directes de Codex et de 10 348 étiquettes directes de Gemma. Le mode candidate est l'union des têtes enseignantes seuillées; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont ni des étiquettes humaines ni des étiquettes directes de modèles de pointe.

score de la tête « metaresearch » (Codex)0,000
score de la tête « metaresearch » (Gemma)0,000
Version: codex-gemma-dda1882f352aStatut de validation: machine_predicted_unvalidated
Catégories candidatesaucune
Catégories consensuellesaucune
DomaineSignal candidat: aucune · Signal consensuel: aucune
Devis d'étudeSignal candidat: Expérimental (laboratoire) · Signal consensuel: Expérimental (laboratoire)
GenreSignal candidat: Empirique · Signal consensuel: Empirique
Score de désaccord entre enseignants0,109
Score d'incertitude au seuil0,682

Scores Codex et Gemma par catégorie

CatégorieCodexGemma
Métarecherche0,0000,000
Méta-épidémiologie (sens strict)0,0000,000
Méta-épidémiologie (sens large)0,0000,000
Bibliométrie0,0000,000
Études des sciences et des technologies0,0000,000
Communication savante0,0000,000
Science ouverte0,0000,000
Intégrité de la recherche0,0000,000
Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger)0,0000,000

Scores machine (provisoires)

Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.

Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.

Tête enseignante Opus0,012
Tête enseignante GPT0,221
Écart entre enseignants0,210 · la distance entre les deux têtes enseignantes sur ce seul travail
Statut de validationscore_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découle

Classification

machine, non validée

Prédiction automatique; un appel candidat d’une seule tête enseignante, pas un consensus.

Les modèles n’ont appliqué aucune catégorie : rien dans la taxonomie ne correspondait à ce travail.
Devis d'étudeExpérimental (laboratoire)
Domainenon disponible
GenreEmpirique

Le détail, modèle par modèle et score par score, se trouve en fin de page sous « Comment cette classification a été obtenue ».

En bref

Citations8
Publié2011
Routes d'admission1
Résumé présentoui

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