Intercomparison of silicon dioxide thickness measurements made by multiple techniques: The route to accuracy
Notice bibliographique
Résumé
A pilot project has been launched under the auspices of the Consultative Committee for Amount of Substance to evaluate the quantification for SiO2 on (100) and (111) Si in the thickness range 1.5–8 nm. Wafers and methodologies have been carefully prepared. Forty-five sets of measurements have been made in different laboratories using eight methods: medium energy ion scattering spectrometry (MEIS), nuclear reaction analysis (NRA), Rutherford backscattering spectrometry (RBS), elastic backscattering spectrometry (EBS), x-ray photoelectron spectroscopy (XPS), ellipsometry, grazing incidence x-ray reflectometry (GIXRR), neutron reflectometry (NR), and transmission electron microscopy. The results have been assessed, against the National Physical Laboratory (NPL) XPS data, using d(respondee)=md(NPL)+c. All show excellent linearity. The main sets correlate with the NPL data with average root-mean-square scatters of 0.13 nm with half being <0.1 nm. Each set allows the relative scaling constant, m, and the zero thickness offset, c to be determined. Each method has 0
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Comment cette classification a été obtenuedéplier
Prédiction machine sur la base complète
Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Le volet Gemma est une étiquette directe du modèle pour chaque travail de la base, lue sur la notice réduite au titre. Le volet Codex est un classifieur appris des 10 348 étiquettes directes de Codex et calibré sur les taux pondérés de l'échantillon; les champs sans appui suffisant ne portent aucun appel Codex. Le mode candidate est l'union des deux volets; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont pas des étiquettes humaines.
Scores du classifieur distillé par catégorie (deux têtes)
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,053 | 0,065 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,003 | 0,002 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,002 | 0,001 |
| Bibliométrie | 0,004 | 0,004 |
| Études des sciences et des technologies | 0,001 | 0,002 |
| Communication savante | 0,004 | 0,003 |
| Science ouverte | 0,005 | 0,005 |
| Intégrité de la recherche | 0,002 | 0,002 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,001 | 0,001 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.
score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découleClassification
machine, non validéePrédiction automatique; un appel candidat d’une seule source (Gemma direct ou Codex distillé), pas un consensus.
Le détail, modèle par modèle et score par score, se trouve en fin de page sous « Comment cette classification a été obtenue ».