Operation of electrothermal and electrostatic MUMPs microactuators underwater
Pourquoi ce travail est dans la base
Une base qui oublie comment elle a trouvé un travail ne peut pas être vérifiée. Voici les voies qui ont admis celui-ci.
Notice bibliographique
Résumé
Surface-micromachined actuators made in multi-user MEMS processes (MUMPs) have been operated underwater without modifying the manufacturing process. Such actuators have generally been either electro-thermally or electro-statically actuated and both actuator styles are tested here for suitability underwater. This is believed to be the first time that thermal and electrostatic actuators have been compared for deflection underwater relative to air performance. A high-frequency ac square wave is used to replicate a dc-driven actuator output without the associated problem of electrolysis in water. This method of ac activation, with frequencies far above the mechanical resonance frequencies of the MEMS actuators, has been termed root mean square (RMS) operation. Both thermal and electrostatic actuators have been tested and proved to work using RMS control. Underwater performance has been evaluated by using in-air operation of these actuators as a benchmark. When comparing deflection per volt applied, thermal actuators operate between 5 and 9% of in-air deflection and electrostatic actuators show an improvement in force per volt applied of upwards of 6000%. These results agree with predictions based on the physical properties of the surrounding medium.
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Prédiction distillée sur la base complète
Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Apprise à partir de 10 348 étiquettes directes de Codex et de 10 348 étiquettes directes de Gemma. Le mode candidate est l'union des têtes enseignantes seuillées; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont ni des étiquettes humaines ni des étiquettes directes de modèles de pointe.
Scores Codex et Gemma par catégorie
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,000 | 0,000 |
| Bibliométrie | 0,000 | 0,000 |
| Études des sciences et des technologies | 0,000 | 0,000 |
| Communication savante | 0,000 | 0,000 |
| Science ouverte | 0,000 | 0,000 |
| Intégrité de la recherche | 0,000 | 0,000 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,000 | 0,000 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.
score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découle