Optical attenuation by vertically bending a rib waveguide through electrostatic zipping actuation
Notice bibliographique
Résumé
In this paper we present a variable optical attenuator (VOA) that is based on microbending of a silicon-on-insulator (SOI) rib waveguide. Optical attenuation is achieved by etching away the underlying SiO2 layer in a section of the waveguide and using electrostatic deflection to introduce vertical bending. When a single-mode rib waveguide is bent, the light traveling through it will undergo mode conversion. The amount of energy transferred to lossy modes depends on the curvature of the bending section. This mechanism is studied with the help of beam propagation method (BPM) simulations. In order to achieve a substantial amount of attenuation by bending, voltages in excess of the pull-in threshold are used, bringing a portion of the waveguide into contact with the underlying silicon substrate. An electrostatic zipping action determines the bending radii and the length of the contact region. The equation for the relationship between the bending radius of the waveguide and the controlling voltage is established through the energy method, and is numerically solved. FEM modeling is also performed to validate the result from the energy model. The device is fabricated by conventional silicon processing steps, plus steps to solve the stiction problem. The test setup for the device consists of a home-made interference microscope to monitor the vertical movement of the waveguide under test and align the input fiber to the waveguide, and other instruments to monitor the output from the device and perform the attenuation measurement. The experimental data agree well with both the BPM simulations and the calculations for the zipping actuation. The tested devices show that we can achieve 14dB attenuation over a 1mm span of a bent waveguide.
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Comment cette classification a été obtenuedéplier
Prédiction machine sur la base complète
Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Le volet Gemma est une étiquette directe du modèle pour chaque travail de la base, lue sur la notice réduite au titre. Le volet Codex est un classifieur appris des 10 348 étiquettes directes de Codex et calibré sur les taux pondérés de l'échantillon; les champs sans appui suffisant ne portent aucun appel Codex. Le mode candidate est l'union des deux volets; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont pas des étiquettes humaines.
Scores du classifieur distillé par catégorie (deux têtes)
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,000 | 0,000 |
| Bibliométrie | 0,000 | 0,000 |
| Études des sciences et des technologies | 0,000 | 0,000 |
| Communication savante | 0,000 | 0,000 |
| Science ouverte | 0,000 | 0,000 |
| Intégrité de la recherche | 0,000 | 0,000 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,001 | 0,000 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.
score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découleClassification
machine, non validéePrédiction automatique; un appel candidat d’une seule source (Gemma direct ou Codex distillé), pas un consensus.
Le détail, modèle par modèle et score par score, se trouve en fin de page sous « Comment cette classification a été obtenue ».