New methods of defect-enhanced quantum well intermixing and demonstrated integrated distributed-feedback laser modulator
Notice bibliographique
Résumé
New methods of implementing quantum well intermixing (QWI) in InP-based materials using defect-enhanced diffusion are presented and compared to the widely reported technique employing dielectric (usuall SiO<SUB>2</SUB>) capping with subsequent rapid thermal anneal (RTA) treatments. The new methods discussed use InP layers grown either at low temperature by gas-source molecular beam epitaxy (GSMBE) or using He-plasma-assisted GSMBE where growth surface is subjected to a continuous low energy He-plasma generated in an electron cyclotron resonance (ECR) source. The two new QWI processes, and the SiO<SUB>2</SUB> capping method, are applied to a 1.55(mu) m InGaAsP multiple quantum well laser structure. For application of the QWI process the laser structure growths are interrupted in a manner and location appropriate to carrying out the QWI process and subsequent grating etch for the fabrication of a distributed feedback (DFB) laser. After implementing the QWI and grating etch, growth on the top cladding and contact layers completes the device structure. Finally, the fabrication of a DFB laser with an integrated electro-absorption (EA) modulator is described and the resultant characteristics given.
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Comment cette classification a été obtenuedéplier
Prédiction distillée sur la base complète
Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Apprise à partir de 10 348 étiquettes directes de Codex et de 10 348 étiquettes directes de Gemma. Le mode candidate est l'union des têtes enseignantes seuillées; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont ni des étiquettes humaines ni des étiquettes directes de modèles de pointe.
Scores Codex et Gemma par catégorie
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,001 | 0,001 |
| Bibliométrie | 0,000 | 0,000 |
| Études des sciences et des technologies | 0,000 | 0,000 |
| Communication savante | 0,000 | 0,000 |
| Science ouverte | 0,001 | 0,000 |
| Intégrité de la recherche | 0,000 | 0,000 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,000 | 0,000 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.
score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découleClassification
machine, non validéePrédiction automatique; un appel candidat d’une seule tête enseignante, pas un consensus.
Le détail, modèle par modèle et score par score, se trouve en fin de page sous « Comment cette classification a été obtenue ».