UV-laser-based process for quantum well intermixing of III-V heterostructures
Notice bibliographique
Résumé
The influence of surface irradiation of GaAs with a KrF excimer laser on the magnitude of a quantum well (QW) intermixing effect has been investigated in GaAs/AlGaAs QW heterostructures. The irradiation was carried out in an atmospheric environment with laser pulses of fluence between 60 and 90 mJ/cm<sup>2</sup>. Following the irradiation, the samples were annealed in a rapid thermal annealing furnace at temperatures ranging from 850 to 925°C. Compared with non-irradiated samples, a strong suppression of the bandgap shift has been observed in all laser irradiated samples. The suppression increased from 5 to 22 nm for samples irradiated with 88 mJ/cm<sup>2</sup> pulses and annealed at 850 and 900°C, respectively. This increased thermal stability of excimer laser irradiated samples indicates the potential for developing a process for selective area bandgap engineering of large area GaAs/AlGaAs QW wafers.
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Comment cette classification a été obtenuedéplier
Prédiction distillée sur la base complète
Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Apprise à partir de 10 348 étiquettes directes de Codex et de 10 348 étiquettes directes de Gemma. Le mode candidate est l'union des têtes enseignantes seuillées; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont ni des étiquettes humaines ni des étiquettes directes de modèles de pointe.
Scores Codex et Gemma par catégorie
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,001 | 0,001 |
| Bibliométrie | 0,000 | 0,000 |
| Études des sciences et des technologies | 0,000 | 0,000 |
| Communication savante | 0,000 | 0,000 |
| Science ouverte | 0,001 | 0,000 |
| Intégrité de la recherche | 0,000 | 0,000 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,000 | 0,000 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.
score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découleClassification
machine, non validéePrédiction automatique; un appel candidat d’une seule tête enseignante, pas un consensus.
Le détail, modèle par modèle et score par score, se trouve en fin de page sous « Comment cette classification a été obtenue ».