Fourier transform infrared absorption spectroscopy characterization of gaseous atmospheric pressure plasmas with 2 mm spatial resolution
Notice bibliographique
Résumé
This paper describes an optical setup built to record Fourier transform infrared (FTIR) absorption spectra in an atmospheric pressure plasma with a spatial resolution of 2 mm. The overall system consisted of three basic parts: (1) optical components located within the FTIR sample compartment, making it possible to define the size of the infrared beam (2 mm × 2 mm over a path length of 50 mm) imaged at the site of the plasma by (2) an optical interface positioned between the spectrometer and the plasma reactor. Once through the plasma region, (3) a retro-reflector module, located behind the plasma reactor, redirected the infrared beam coincident to the incident path up to a 45° beamsplitter to reflect the beam toward a narrow-band mercury-cadmium-telluride detector. The antireflective plasma-coating experiments performed with ammonia and silane demonstrated that it was possible to quantify 42 and 2 ppm of these species in argon, respectively. In the case of ammonia, this was approximately three times less than this gas concentration typically used in plasma coating experiments while the silane limit of quantification was 35 times lower. Moreover, 70% of the incoming infrared radiation was focused within a 2 mm width at the site of the plasma, in reasonable agreement with the expected spatial resolution. The possibility of reaching this spatial resolution thus enabled us to measure the gaseous precursor consumption as a function of their residence time in the plasma.
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Comment cette classification a été obtenuedéplier
Prédiction distillée sur la base complète
Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Apprise à partir de 10 348 étiquettes directes de Codex et de 10 348 étiquettes directes de Gemma. Le mode candidate est l'union des têtes enseignantes seuillées; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont ni des étiquettes humaines ni des étiquettes directes de modèles de pointe.
Scores Codex et Gemma par catégorie
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,000 | 0,000 |
| Bibliométrie | 0,000 | 0,000 |
| Études des sciences et des technologies | 0,000 | 0,000 |
| Communication savante | 0,000 | 0,001 |
| Science ouverte | 0,000 | 0,000 |
| Intégrité de la recherche | 0,000 | 0,000 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,000 | 0,000 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.
score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découleClassification
machine, non validéePrédiction automatique; un appel candidat d’une seule tête enseignante, pas un consensus.
Le détail, modèle par modèle et score par score, se trouve en fin de page sous « Comment cette classification a été obtenue ».