Electrical and optical characterization of SiONC dielectric thin film deposited by polymer-source chemical vapor deposition
Notice bibliographique
Résumé
The electro-optical properties of SiONC dielectric thin films deposited by polymer-source chemical vapor deposition using an organosilane precursor has been investigated as a function of oxygen concentration in the films. SiONC thin films were characterized using capacitance-voltage (C-V), conductance-voltage (G-V), ellipsometry, and ultraviolet visible (UV-Vis) photospectroscopy. These measurements showed that the electro-optical properties of the films are greatly influenced by the atomic concentration of oxygen. The high frequency C-V measurement revealed a nearly ideal metal-oxide-semiconductor (MOS) structure behavior at high atomic concentration of oxygen (35 at. %). A relative dielectric constant as high as 6 is obtained at 10 kHz for samples with about 5 at. % of oxygen, which corresponds to high-k dielectric material. The interface trap density extracted from G-V measurement using Hill-Coleman method is as low as 3.2×1010 (cm−2 eV−1), making these films a viable high-k dielectric alternative to SiO2 and SiON in MOS devices. The refractive index measured by ellipsometry at a wavelength of 632.8 nm shows a linear variation with atomic concentration of oxygen from 1.58 to 1.69. The optical energy band gap extracted from UV-Vis absorption spectra was found to vary between 4.40 and 5.25 eV.
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Comment cette classification a été obtenuedéplier
Prédiction distillée sur la base complète
Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Apprise à partir de 10 348 étiquettes directes de Codex et de 10 348 étiquettes directes de Gemma. Le mode candidate est l'union des têtes enseignantes seuillées; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont ni des étiquettes humaines ni des étiquettes directes de modèles de pointe.
Scores Codex et Gemma par catégorie
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,000 | 0,000 |
| Bibliométrie | 0,000 | 0,000 |
| Études des sciences et des technologies | 0,000 | 0,000 |
| Communication savante | 0,000 | 0,000 |
| Science ouverte | 0,000 | 0,000 |
| Intégrité de la recherche | 0,000 | 0,000 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,000 | 0,000 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.
score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découleClassification
machine, non validéePrédiction automatique; un appel candidat d’une seule tête enseignante, pas un consensus.
Le détail, modèle par modèle et score par score, se trouve en fin de page sous « Comment cette classification a été obtenue ».