Amorphous selenium direct detection CMOS digital x-ray imager with 25 micron pixel pitch
Notice bibliographique
Résumé
ABSTRACT We have developed a high resolution amorphous selenium (a-Se) direct detection imager using a large-areacompatible back-end fabrication process on top of a CMOS active pixel sensor having 25 micron pixel pitch.Integration of a-Se with CMOS technology requires overcoming CMOS/a-Se interfacial strain, which initiatesnucleation of crystalline selenium and results in high detector dark currents. A CMOS-compatible polyimidebu er layer was used to planarize the backplane and provide a low stress and thermally stable surface for a-Se.The bu er layer inhibits crystallization and provides detector stability that is not only a performance factor butalso critical for favorable long term cost-bene t considerations in the application of CMOS digital x-ray imagersin medical practice. The detector structure is comprised of a polyimide (PI) bu er layer, the a-Se layer, and agold (Au) top electrode. The PI layer is applied by spin-coating and is patterned using dry etching to open thebackplane bond pads for wire bonding. Thermal evaporation is used to deposit the a-Se and Au layers, and thedetector is operated in hole collection mode (i.e. a positive bias on the Au top electrode).High resolution a-Se diagnostic systems typically use 70 to 100 m pixel pitch and have a pre-samplingmodulation transfer function (MTF) that is signi cantly limited by the pixel aperture. Our results con rm that,for a densely integrated 25 m pixel pitch CMOS array, the MTF approaches the fundamental material limit,i.e. where the MTF begins to be limited by the a-Se material properties and not the pixel aperture. Preliminaryimages demonstrating high spatial resolution have been obtained from a rst prototype imager.Keywords: x-ray imaging, high spatial resolution, amorphous selenium, CMOS, CMOS-selenium, array pro-cessing, direct conversion, at panel imaging
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Comment cette classification a été obtenuedéplier
Prédiction distillée sur la base complète
Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Apprise à partir de 10 348 étiquettes directes de Codex et de 10 348 étiquettes directes de Gemma. Le mode candidate est l'union des têtes enseignantes seuillées; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont ni des étiquettes humaines ni des étiquettes directes de modèles de pointe.
Scores Codex et Gemma par catégorie
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,001 | 0,001 |
| Bibliométrie | 0,000 | 0,001 |
| Études des sciences et des technologies | 0,000 | 0,000 |
| Communication savante | 0,000 | 0,001 |
| Science ouverte | 0,000 | 0,000 |
| Intégrité de la recherche | 0,000 | 0,000 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,000 | 0,000 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.
score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découleClassification
machine, non validéePrédiction automatique; un appel candidat d’une seule tête enseignante, pas un consensus.
Le détail, modèle par modèle et score par score, se trouve en fin de page sous « Comment cette classification a été obtenue ».