Amorphous selenium direct detection CMOS digital x-ray imager with 25 micron pixel pitch
Notice bibliographique
Résumé
ABSTRACT We have developed a high resolution amorphous selenium (a-Se) direct detection imager using a large-areacompatible back-end fabrication process on top of a CMOS active pixel sensor having 25 micron pixel pitch.Integration of a-Se with CMOS technology requires overcoming CMOS/a-Se interfacial strain, which initiatesnucleation of crystalline selenium and results in high detector dark currents. A CMOS-compatible polyimidebu er layer was used to planarize the backplane and provide a low stress and thermally stable surface for a-Se.The bu er layer inhibits crystallization and provides detector stability that is not only a performance factor butalso critical for favorable long term cost-bene t considerations in the application of CMOS digital x-ray imagersin medical practice. The detector structure is comprised of a polyimide (PI) bu er layer, the a-Se layer, and agold (Au) top electrode. The PI layer is applied by spin-coating and is patterned using dry etching to open thebackplane bond pads for wire bonding. Thermal evaporation is used to deposit the a-Se and Au layers, and thedetector is operated in hole collection mode (i.e. a positive bias on the Au top electrode).High resolution a-Se diagnostic systems typically use 70 to 100 m pixel pitch and have a pre-samplingmodulation transfer function (MTF) that is signi cantly limited by the pixel aperture. Our results con rm that,for a densely integrated 25 m pixel pitch CMOS array, the MTF approaches the fundamental material limit,i.e. where the MTF begins to be limited by the a-Se material properties and not the pixel aperture. Preliminaryimages demonstrating high spatial resolution have been obtained from a rst prototype imager.Keywords: x-ray imaging, high spatial resolution, amorphous selenium, CMOS, CMOS-selenium, array pro-cessing, direct conversion, at panel imaging
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Comment cette classification a été obtenuedéplier
Prédiction machine sur la base complète
Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Le volet Gemma est une étiquette directe du modèle pour chaque travail de la base, lue sur la notice réduite au titre. Le volet Codex est un classifieur appris des 10 348 étiquettes directes de Codex et calibré sur les taux pondérés de l'échantillon; les champs sans appui suffisant ne portent aucun appel Codex. Le mode candidate est l'union des deux volets; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont pas des étiquettes humaines.
Scores du classifieur distillé par catégorie (deux têtes)
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,000 | 0,000 |
| Bibliométrie | 0,000 | 0,000 |
| Études des sciences et des technologies | 0,000 | 0,000 |
| Communication savante | 0,000 | 0,000 |
| Science ouverte | 0,001 | 0,000 |
| Intégrité de la recherche | 0,000 | 0,000 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,004 | 0,002 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.
score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découleClassification
machine, non validéePrédiction automatique; un appel candidat d’une seule source (Gemma direct ou Codex distillé), pas un consensus.
Le détail, modèle par modèle et score par score, se trouve en fin de page sous « Comment cette classification a été obtenue ».