A Discretization Approach to Modeling Capacitive MEMS Filters
Notice bibliographique
Résumé
We present a reduced-order model and closed-form expressions describing the response of a micromechanical filter made up of two clamped-clamped microbeam capacitive resonators coupled by a weak microbeam. The model accounts for geometrical and electrical nonlinearities as well as the coupling between them. It is obtained by discretizing the distributed-parameter system using the Galerkin procedure. The basis functions are the linear undamped global mode shapes of the unactuated filter. Closed-form expressions for these mode shapes and the coressponding natural frequencies are obtained by formulating a boundary-value problem (BVP) that is composed of five equations and twenty boundary conditions. This problem is transformed into solving a system of twenty linear homogeneous algebraic equations for twenty constants and the natural frequencies. We predict the deflection and the voltage at which the static pull-in occurs by solving another boundary-value problem (BVP). We also solve an eigenvalue problem (EVP) to determine the two natural frequencies delineating the bandwidth of the actuated filter. Using the method of multiple scales, we determine four first-order nonlinear ODEs describing the amplitudes and phases of the modes. We found a good agreement between the results obtained using our model and the published experimental results. We found that the filter can be tuned to operate linearly for a wide range of input signal strengths by choosing a DC voltage that makes the effective nonlinearities vanish.
Récupéré en direct depuis OpenAlex et désinversé. Les résumés ne sont pas conservés dans cette base de données : les index inversés représentent 8,6 Go des 9,3 Go de texte de la base, et le serveur dispose de 13 Go libres.
Comment cette classification a été obtenuedéplier
Prédiction machine sur la base complète
Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Le volet Gemma est une étiquette directe du modèle pour chaque travail de la base, lue sur la notice réduite au titre. Le volet Codex est un classifieur appris des 10 348 étiquettes directes de Codex et calibré sur les taux pondérés de l'échantillon; les champs sans appui suffisant ne portent aucun appel Codex. Le mode candidate est l'union des deux volets; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont pas des étiquettes humaines.
Scores du classifieur distillé par catégorie (deux têtes)
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,000 | 0,001 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,001 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,000 | 0,001 |
| Bibliométrie | 0,000 | 0,000 |
| Études des sciences et des technologies | 0,000 | 0,000 |
| Communication savante | 0,000 | 0,000 |
| Science ouverte | 0,001 | 0,000 |
| Intégrité de la recherche | 0,001 | 0,001 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,001 | 0,000 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.
score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découleClassification
machine, non validéePrédiction automatique; un appel candidat d’une seule source (Gemma direct ou Codex distillé), pas un consensus.
Le détail, modèle par modèle et score par score, se trouve en fin de page sous « Comment cette classification a été obtenue ».