Growth characteristics of vacuum coated thick <i>a</i>-Se films for device applications
Notice bibliographique
Résumé
There has been a resurgence of interest in the growth characteristics of amorphous Se (a-Se) films due to their recently commercialized applications in x-ray imaging as x-ray photoconductors. Electronic quality a-Se films require the substrate temperature during vacuum deposition to be as high as possible but increasing the substrate temperature leads to amorphous films containing crystalline inclusions and eventually to polycrystalline films which have high conductivity and are therefore not useful as photoconductors. We prepared a variety of thick a-Se films on Al substrates by conventional vacuum deposition in which only the substrate temperature Tsb and boat temperature Tbt were varied. Experiments indicated the appearance of crystalline zones (crystallites) in the amorphous Se film as the substrate temperature was increased. We identified an experimental critical Tbt−Tsb boundary between amorphous films with and without crystalline inclusions. A model has been developed for the critical relationship between Tsb and Tbt, i.e., Tbt=f(Tsb) based on two competing rate mechanisms: the rate of deposition (or material condensation on the substrate) and rate of crystal growth in the film assuming heterogeneous nucleation at favorable substrate sites. Over the narrow substrate temperature range, we approximated the Vogel–Tamman–Fulcher behavior of the crystal growth rate by an Arrhenius rate with an apparent activation energy Ecr that accounts for most crystallization studies on a-Se. The condensation rate was assumed to follow an Arrhenius rate with the activation energy determined by the enthalpy of evaporation, Eev. The Tbt=f(Tsb) model was particularly sensitive to the Ecr/Eev ratio. By using the presently accepted values for Eev and Ecr, it was shown that the experimental results could be well fitted to the Tbt=f(Tsb) model. The results have a wider significance than a-Se and can be easily extended to apply to a number of other chalcogenide semiconductor films.
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Comment cette classification a été obtenuedéplier
Prédiction machine sur la base complète
Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Le volet Gemma est une étiquette directe du modèle pour chaque travail de la base, lue sur la notice réduite au titre. Le volet Codex est un classifieur appris des 10 348 étiquettes directes de Codex et calibré sur les taux pondérés de l'échantillon; les champs sans appui suffisant ne portent aucun appel Codex. Le mode candidate est l'union des deux volets; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont pas des étiquettes humaines.
Scores du classifieur distillé par catégorie (deux têtes)
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,000 | 0,000 |
| Bibliométrie | 0,000 | 0,000 |
| Études des sciences et des technologies | 0,000 | 0,000 |
| Communication savante | 0,000 | 0,000 |
| Science ouverte | 0,000 | 0,000 |
| Intégrité de la recherche | 0,000 | 0,000 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,001 | 0,000 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.
score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découleClassification
machine, non validéePrédiction automatique; un appel candidat d’une seule source (Gemma direct ou Codex distillé), pas un consensus.
Le détail, modèle par modèle et score par score, se trouve en fin de page sous « Comment cette classification a été obtenue ».