On the effects of double-step anneal treatments on light emission from Er-doped Si-rich silicon oxide
Notice bibliographique
Résumé
We have studied photoluminescence (PL) from an Er-doped Si-rich Si oxide (SRSO) film thermally annealed under different conditions. Compared to the case of annealing in N2 alone, double-step annealing the film at 875°C in N2 and then at ∼850°C in O2 or vice versa increases Er PL intensities by 10%–15%; while double-step annealing in N2+5%H2 (FG) and then in O2 or vice versa yields significant enhancements of the PL from the SRSO matrix and the Er PL intensity decreases differently by exchanging the processing order. Fourier transform infrared spectroscopy indicates that silicon oxynitride forms after annealing in FG ambient, and for the samples initially oxidized, the increase of Er PL intensity after secondary annealing in N2 (or FG) is due to more Si nanoclusters being formed. The PL spectra exhibit different annealing behavior with increasing the FG annealing temperature and the processing order. Weak oxygen bonds and silicon oxynitrides are believed to form upon O2 and FG annealing, respectively, and play important roles in the PL.
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Comment cette classification a été obtenuedéplier
Prédiction distillée sur la base complète
Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Apprise à partir de 10 348 étiquettes directes de Codex et de 10 348 étiquettes directes de Gemma. Le mode candidate est l'union des têtes enseignantes seuillées; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont ni des étiquettes humaines ni des étiquettes directes de modèles de pointe.
Scores Codex et Gemma par catégorie
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,000 | 0,000 |
| Bibliométrie | 0,000 | 0,000 |
| Études des sciences et des technologies | 0,000 | 0,000 |
| Communication savante | 0,000 | 0,000 |
| Science ouverte | 0,000 | 0,000 |
| Intégrité de la recherche | 0,000 | 0,000 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,000 | 0,000 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.
score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découleClassification
machine, non validéePrédiction automatique; un appel candidat d’une seule tête enseignante, pas un consensus.
Le détail, modèle par modèle et score par score, se trouve en fin de page sous « Comment cette classification a été obtenue ».