RF‐MEMS switches on a printed circuit board platform
Notice bibliographique
Résumé
Purpose The purpose of this paper is to present a new class of printed circuit board (PCB)‐based, radio frequency micro‐electro‐mechanical systems (RF‐MEMS) switches and to describe the packaging method and evaluate performance. Design/methodology/approach Traditional PCB materials and processes were combined with photolithographic high‐density interconnect (HDI) and MEMS to form 3D high‐performance RF switches. Findings A new type of MEMS RF switch has been developed on a PCB platform. Using processes analogous to those used for silicon MEMS, PCB, and HDI technologies were utilized to fabricate these 3D structures. The PCB‐based microstructures are “mil‐scale” rather than the “micro‐scale” of silicon MEMs. A co‐fabrication packaging method for the MEMS RF switch was also developed. The PCB‐based MEMS switches have demonstrated excellent RF performance and “hot‐switching” RF power‐handling capability. PCB‐based MEMS RF switches have the advantages of low cost and amenability to scale‐up for a high degree of integration. Research limitations/implications Further development on photo imageable dielectric materials will enable this technology to improve yield and processability. Originality/value The paper describes the development of PCB‐based MEMS RF switches. These elements will enable new applications and enhance the functionality of PCBs. They are also more amenable to system integration compared with silicon MEMS.
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Comment cette classification a été obtenuedéplier
Prédiction distillée sur la base complète
Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Apprise à partir de 10 348 étiquettes directes de Codex et de 10 348 étiquettes directes de Gemma. Le mode candidate est l'union des têtes enseignantes seuillées; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont ni des étiquettes humaines ni des étiquettes directes de modèles de pointe.
Scores Codex et Gemma par catégorie
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,000 | 0,000 |
| Bibliométrie | 0,000 | 0,000 |
| Études des sciences et des technologies | 0,000 | 0,000 |
| Communication savante | 0,000 | 0,000 |
| Science ouverte | 0,000 | 0,000 |
| Intégrité de la recherche | 0,000 | 0,001 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,000 | 0,000 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.
score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découleClassification
machine, non validéePrédiction automatique; un appel candidat d’une seule tête enseignante, pas un consensus.
Le détail, modèle par modèle et score par score, se trouve en fin de page sous « Comment cette classification a été obtenue ».