Growth of high-performance GaN modulation-doped field-effect transistors by ammonia-molecular-beam epitaxy
Notice bibliographique
Résumé
The growth of AlGaN/GaN modulation-doped field-effect transistors (MODFETs) by ammonia-molecular-beam epitaxy on sapphire substrates is reported. C-doped GaN (2 μm thick) was used as the insulating buffer layer in the device structures. The MODFET structure was completed by the subsequent growth of 2000 Å of undoped GaN as the channel layer and 130 Å of AlxGa1−xN(0.1⩽x⩽0.3) as the donor barrier layer. Sheet carrier densities of up to 2×1013 cm−2 with mobility of ∼1000 cm2/V s have been achieved even without doping the AlxGa1−xN barrier, indicating a large piezoelectric effect and excellent interface quality. The MODFET layers grown exhibited a unique surface morphology showing very flat plateaus with rms roughness of 0.8 nm on the plateaus and rms roughness of 8 nm over a larger area. A 100-μm-wide device with a 1 μm gate length exhibited a maximum dc current drive of 0.9 A/mm, a peak transconductance of 160 mS/mm, a current gain cutoff frequency of 15.6 GHz, and a maximum oscillation frequency of 49.4 GHz. The high dc and rf performance is attributed to the high two-dimensional electron mobility, high sheet charge density, and insulating property of the C-doped GaN buffer.
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Comment cette classification a été obtenuedéplier
Prédiction distillée sur la base complète
Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Apprise à partir de 10 348 étiquettes directes de Codex et de 10 348 étiquettes directes de Gemma. Le mode candidate est l'union des têtes enseignantes seuillées; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont ni des étiquettes humaines ni des étiquettes directes de modèles de pointe.
Scores Codex et Gemma par catégorie
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,001 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,001 | 0,000 |
| Bibliométrie | 0,000 | 0,001 |
| Études des sciences et des technologies | 0,000 | 0,000 |
| Communication savante | 0,000 | 0,001 |
| Science ouverte | 0,001 | 0,000 |
| Intégrité de la recherche | 0,000 | 0,000 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,000 | 0,000 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.
score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découleClassification
machine, non validéePrédiction automatique; un appel candidat d’une seule tête enseignante, pas un consensus.
Le détail, modèle par modèle et score par score, se trouve en fin de page sous « Comment cette classification a été obtenue ».