A high-repetition-rate femtosecond laser for thin silicon wafer dicing
Pourquoi ce travail est dans la base
Une base qui oublie comment elle a trouvé un travail ne peut pas être vérifiée. Voici les voies qui ont admis celui-ci.
Notice bibliographique
Résumé
In this study, a high-power–high-repetition-rate femtosecond laser was investigated for singulation of silicon wafers. The femtosecond laser used for this investigation, unlike the previously used amplified system, is a compact unit that emits infrared ultrashort pulses at high repetition rates in the MHz range and an average output power of 11 W. A systematic study of the influence of the laser parameters on the kerf width, depth and quality of machining was carried out. A number of different experiments were performed using a silicon wafer of diameter 50 mm, P-type boron doped and back grinded to a 250 µm thickness wafer with orientation of ⟨1 0 0⟩. The experimental results show that the high-power–high-repetition-rate femtosecond laser can be a promising and competitive tool for thin wafer dicing. It is also the first time that the high-repetition-rate femtosecond laser has been demonstrated for real-world industrial applications for micromachining. A cutting speed of 40 mm s−1 with acceptable quality of sidewalls, depth of cut and kerf width was demonstrated during the experiment which can be considered when applying for industrial usage.
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Prédiction distillée sur la base complète
Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Apprise à partir de 10 348 étiquettes directes de Codex et de 10 348 étiquettes directes de Gemma. Le mode candidate est l'union des têtes enseignantes seuillées; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont ni des étiquettes humaines ni des étiquettes directes de modèles de pointe.
Scores Codex et Gemma par catégorie
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,000 | 0,000 |
| Bibliométrie | 0,000 | 0,000 |
| Études des sciences et des technologies | 0,000 | 0,000 |
| Communication savante | 0,000 | 0,000 |
| Science ouverte | 0,000 | 0,000 |
| Intégrité de la recherche | 0,000 | 0,000 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,000 | 0,000 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.
score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découle