Performance of an electrostatic actuated micromirror in a vacuum and non-vacuum packaging
Notice bibliographique
Résumé
Experimental results of micromirrors sealed in vacuum and non-vacuum environments are presented. The micromirror is 1.0 mm in diameter and is supported by four electrostatic repulsive actuators. The micromirror exhibits linear out-of-plane motion and rotational motion in two axes. The measured data shows that translational motion is 71 μm and 76 μm at 200 V for vacuumed and non-vacuumed micromirrors, respectively. The maximum optical rotational displacements for the vacuum and non-vacuum packaged micromirrors are 1.0° and 1.1°, respectively at 160 V. Packaging the micromirror in a vacuum decreases the squeeze film damping in the system. The settling time for the vacuum packaged micromirrors is 75 ms with an average overshoot of 116%. The settling times for the non-vacuumed micromirror are 2.75 ms with 5% overshoot for downward motion and 3.32 ms with 48% overshoot for upward motion. The estimated resonant frequency of the vacuum packaged micromirror is 2900 Hz, whereas the resonant frequency for the non-vacuumed micromirror is 1400 Hz. The static and dynamic results for the micromirror in reduced pressures determined that effects approaching the breakdown voltage become evident, resulting in lower displacements, and squeeze film damping effects are mitigated, leading to more consistent performance characteristics such as settling time and percent overshoot.
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Comment cette classification a été obtenuedéplier
Prédiction machine sur la base complète
Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Le volet Gemma est une étiquette directe du modèle pour chaque travail de la base, lue sur la notice réduite au titre. Le volet Codex est un classifieur appris des 10 348 étiquettes directes de Codex et calibré sur les taux pondérés de l'échantillon; les champs sans appui suffisant ne portent aucun appel Codex. Le mode candidate est l'union des deux volets; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont pas des étiquettes humaines.
Scores du classifieur distillé par catégorie (deux têtes)
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,001 | 0,001 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,001 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,001 | 0,000 |
| Bibliométrie | 0,000 | 0,000 |
| Études des sciences et des technologies | 0,000 | 0,000 |
| Communication savante | 0,000 | 0,001 |
| Science ouverte | 0,001 | 0,000 |
| Intégrité de la recherche | 0,001 | 0,000 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,001 | 0,000 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.
score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découleClassification
machine, non validéePrédiction automatique; un appel candidat d’une seule source (Gemma direct ou Codex distillé), pas un consensus.
Le détail, modèle par modèle et score par score, se trouve en fin de page sous « Comment cette classification a été obtenue ».