Nanocavities in He implanted InP
Notice bibliographique
Résumé
The formation of nanocavities in InP(001) by room-temperature He implantation and subsequent thermal annealing was studied using a combination of high-resolution x-ray diffraction (HRXRD) and cross-sectional transmission electron microscopy (XTEM) analyses. The nanocavities size and depth distributions were measured as a function of He ion dose φHe (1×1016 to 9×1016 cm−2) and ion energy E (25 to 70 keV), as well as annealing temperature Ta (600 to 750 °C) and time ta (5 to 25 min). HRXRD scans from annealed samples indicate an expansion of the InP lattice, contrary to what is usually observed following heavy-ion implantation. The critical φHe and Ta values for the formation of nanocavities were found by XTEM analysis to be between 1 and 2×1016 cm−2 and between 600 and 620 °C, respectively. Cavities of diameter 4–50 nm with {110}, {101}, and {001} facets were obtained. Increasing Ta and ta resulted in larger cavities and increasing φHe produced a larger number of cavities. Furthermore we find that nanocavities are metastable as their size first increases with annealing temperature and time but then decreases until they disappear for ta>25 min at Ta=640 °C or ta>10 min at Ta=750 °C. Results are compared with similar work carried out on He-implanted silicon and differences between the two materials are explained in terms of defect diffusivity and surface energy, higher diffusivity enhancing cavity collapse and lower surface energy enhancing cavity growth.
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Comment cette classification a été obtenuedéplier
Prédiction distillée sur la base complète
Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Apprise à partir de 10 348 étiquettes directes de Codex et de 10 348 étiquettes directes de Gemma. Le mode candidate est l'union des têtes enseignantes seuillées; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont ni des étiquettes humaines ni des étiquettes directes de modèles de pointe.
Scores Codex et Gemma par catégorie
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,000 | 0,000 |
| Bibliométrie | 0,000 | 0,000 |
| Études des sciences et des technologies | 0,000 | 0,000 |
| Communication savante | 0,000 | 0,000 |
| Science ouverte | 0,000 | 0,000 |
| Intégrité de la recherche | 0,000 | 0,000 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,000 | 0,000 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.
score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découleClassification
machine, non validéePrédiction automatique; un appel candidat d’une seule tête enseignante, pas un consensus.
Le détail, modèle par modèle et score par score, se trouve en fin de page sous « Comment cette classification a été obtenue ».