Nanocavities in He implanted InP
Notice bibliographique
Résumé
The formation of nanocavities in InP(001) by room-temperature He implantation and subsequent thermal annealing was studied using a combination of high-resolution x-ray diffraction (HRXRD) and cross-sectional transmission electron microscopy (XTEM) analyses. The nanocavities size and depth distributions were measured as a function of He ion dose φHe (1×1016 to 9×1016 cm−2) and ion energy E (25 to 70 keV), as well as annealing temperature Ta (600 to 750 °C) and time ta (5 to 25 min). HRXRD scans from annealed samples indicate an expansion of the InP lattice, contrary to what is usually observed following heavy-ion implantation. The critical φHe and Ta values for the formation of nanocavities were found by XTEM analysis to be between 1 and 2×1016 cm−2 and between 600 and 620 °C, respectively. Cavities of diameter 4–50 nm with {110}, {101}, and {001} facets were obtained. Increasing Ta and ta resulted in larger cavities and increasing φHe produced a larger number of cavities. Furthermore we find that nanocavities are metastable as their size first increases with annealing temperature and time but then decreases until they disappear for ta>25 min at Ta=640 °C or ta>10 min at Ta=750 °C. Results are compared with similar work carried out on He-implanted silicon and differences between the two materials are explained in terms of defect diffusivity and surface energy, higher diffusivity enhancing cavity collapse and lower surface energy enhancing cavity growth.
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Comment cette classification a été obtenuedéplier
Prédiction machine sur la base complète
Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Le volet Gemma est une étiquette directe du modèle pour chaque travail de la base, lue sur la notice réduite au titre. Le volet Codex est un classifieur appris des 10 348 étiquettes directes de Codex et calibré sur les taux pondérés de l'échantillon; les champs sans appui suffisant ne portent aucun appel Codex. Le mode candidate est l'union des deux volets; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont pas des étiquettes humaines.
Scores du classifieur distillé par catégorie (deux têtes)
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,000 | 0,000 |
| Bibliométrie | 0,000 | 0,000 |
| Études des sciences et des technologies | 0,000 | 0,000 |
| Communication savante | 0,000 | 0,000 |
| Science ouverte | 0,000 | 0,000 |
| Intégrité de la recherche | 0,000 | 0,000 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,001 | 0,000 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.
score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découleClassification
machine, non validéePrédiction automatique; un appel candidat d’une seule source (Gemma direct ou Codex distillé), pas un consensus.
Le détail, modèle par modèle et score par score, se trouve en fin de page sous « Comment cette classification a été obtenue ».