MEMS-based flexible reflective analog modulators (FRAM) for projection displays: a technology review and scale-down study
Notice bibliographique
Résumé
A MEMS based technology for projection display is reviewed. This technology relies on mechanically flexible and reflective microbridges made of aluminum alloy. A linear array of such micromirrors is combined with illumination and Schlieren optics to produce a pixels line. Each microbridge in the array is individually controlled using electrostatic actuation to adjust the pixels intensities. Results of the simulation, fabrication and characterization of these microdevices are presented. Activation voltages below 250 V with response times below 10 μs were obtained for 25 μm × 25 μm micromirrors. With appropriate actuation voltage waveforms, response times of 5 μs and less are achievable. A damage threshold of the mirrors above 8 kW/cm2 has been evaluated. Development of the technology has produced projector engines demonstrating this light modulation principle. The most recent of these engines is DVI compatible and displays VGA video streams at 60 Hz. Recently applications have emerged that impose more stringent requirements on the dimensions of the MEMS array and associated optical system. This triggered a scale down study to evaluate the minimum micromirror size achievable, the impact of this reduced size on the damage threshold and the achievable minimum size of the associated optical system. Preliminary results of this scale down study are reported. FRAM with active surface as small as 5 μm × 5 μm have been investigated. Simulations have shown that such micromirrors could be activated with 107 V to achieve f-number of 1.25. The damage threshold has been estimated for various FRAM sizes. Finally, design of a conceptual miniaturized projector based on 1000×1 array of 5 μm × 5 μm micromirrors is presented. The volume of this projector concept is about 12 cm3.
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Comment cette classification a été obtenuedéplier
Prédiction distillée sur la base complète
Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Apprise à partir de 10 348 étiquettes directes de Codex et de 10 348 étiquettes directes de Gemma. Le mode candidate est l'union des têtes enseignantes seuillées; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont ni des étiquettes humaines ni des étiquettes directes de modèles de pointe.
Scores Codex et Gemma par catégorie
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,002 | 0,000 |
| Bibliométrie | 0,000 | 0,001 |
| Études des sciences et des technologies | 0,000 | 0,000 |
| Communication savante | 0,000 | 0,000 |
| Science ouverte | 0,000 | 0,000 |
| Intégrité de la recherche | 0,000 | 0,001 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,000 | 0,000 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.
score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découleClassification
machine, non validéePrédiction automatique; un appel candidat d’une seule tête enseignante, pas un consensus.
Le détail, modèle par modèle et score par score, se trouve en fin de page sous « Comment cette classification a été obtenue ».