Process issues with Mo∕a-Si:H Schottky diode and thin film transistors integration for direct x-ray detection
Notice bibliographique
Résumé
This article presents an alternate strategy to reduce mechanical stress issues pertinent to the process integration of molybdenum/hydrogenated amorphous silicon (Mo∕a-Si:H) Schottky diodes and thin film transistors (TFTs), used as x-ray sensor pixels for medical imaging. The previous approach was to minimize the intrinsic stress in the Mo layer through appropriate process conditions and film thickness. However, that approach resulted in narrow process latitude and compromised x-ray sensitivity. Alternatively, the mechanical stress in the Mo can be reduced by reducing and/or avoiding the extrinsic stress exerted on the Mo by the underlying films through a different masking sequence in the fabrication. This modified process allows for a more flexible design of the Mo layer for enhanced x-ray sensitivity, while maintaining the mechanical integrity of the various layers. Also, the performance of the Schottky diode is improved in terms of its forward current. The x-ray sensitivity has been measured at different x-ray spectra in the range of 40–100kVp. The pixel shows good linearity with x-ray dosage and high detection efficiency at low x-ray tube voltages.
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Comment cette classification a été obtenuedéplier
Prédiction distillée sur la base complète
Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Apprise à partir de 10 348 étiquettes directes de Codex et de 10 348 étiquettes directes de Gemma. Le mode candidate est l'union des têtes enseignantes seuillées; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont ni des étiquettes humaines ni des étiquettes directes de modèles de pointe.
Scores Codex et Gemma par catégorie
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,001 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,000 | 0,000 |
| Bibliométrie | 0,001 | 0,001 |
| Études des sciences et des technologies | 0,000 | 0,001 |
| Communication savante | 0,000 | 0,001 |
| Science ouverte | 0,001 | 0,000 |
| Intégrité de la recherche | 0,000 | 0,001 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,000 | 0,000 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.
score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découleClassification
machine, non validéePrédiction automatique; un appel candidat d’une seule tête enseignante, pas un consensus.
Le détail, modèle par modèle et score par score, se trouve en fin de page sous « Comment cette classification a été obtenue ».