Development of a novel configuration for a MEMS transducer for low bias and high resolution imaging applications
Notice bibliographique
Résumé
A robust capacitive micromachined ultrasonic transducer has been developed. In this novel configuration, a stack of two deflectable membranes are suspended over a fixed bottom electrode. Similar to conventional capacitive ultrasonic transducers, a generated electrostatic force between the electrodes causes the membranes to deflect and vibrate. However, in this new configuration the transducer effective cavity height is reduced due to the deflection of two membranes. Therefore, the transducer spring constant is more susceptible to bias voltage, which in return reduces the required bias voltage. The transducers have been produced employing a MEMS sacrificial technique where two different membrane anchoring (curved- and flat- anchors) structures, with similar membrane radii were fabricated. Highly doped polysilicon was used as the membrane material. The resonant frequencies of the two transducers have been investigated. It was found that the transducers with curved membrane anchors exhibits a larger resonant frequency shift compared to the transducers with flat membranes for a given bias voltage. Comparison has been made between the spring constant of the flat membrane transducer and that of a conventional single membrane transducer. It is shown that the multiple moving membrane transducer exhibits a larger reduction in the spring constant compared to the conventional transducer, when driven with the same bias voltage. This results in a transducer with a higher power generation capability and sensitivity.
Récupéré en direct depuis OpenAlex et désinversé. Les résumés ne sont pas conservés dans cette base de données : les index inversés représentent 8,6 Go des 9,3 Go de texte de la base, et le serveur dispose de 13 Go libres.
Comment cette classification a été obtenuedéplier
Prédiction machine sur la base complète
Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Le volet Gemma est une étiquette directe du modèle pour chaque travail de la base, lue sur la notice réduite au titre. Le volet Codex est un classifieur appris des 10 348 étiquettes directes de Codex et calibré sur les taux pondérés de l'échantillon; les champs sans appui suffisant ne portent aucun appel Codex. Le mode candidate est l'union des deux volets; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont pas des étiquettes humaines.
Scores du classifieur distillé par catégorie (deux têtes)
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,001 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,000 | 0,000 |
| Bibliométrie | 0,000 | 0,000 |
| Études des sciences et des technologies | 0,000 | 0,000 |
| Communication savante | 0,000 | 0,001 |
| Science ouverte | 0,001 | 0,000 |
| Intégrité de la recherche | 0,001 | 0,001 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,001 | 0,001 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.
score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découleClassification
machine, non validéePrédiction automatique; un appel candidat d’une seule source (Gemma direct ou Codex distillé), pas un consensus.
Le détail, modèle par modèle et score par score, se trouve en fin de page sous « Comment cette classification a été obtenue ».