Self-locking vertical operation single crystal silicon micromirrors using silicon-on-insulator technology
Notice bibliographique
Résumé
Micro-opto-electro-mechanical systems (MOEMS) have been developed for a broad range of applications including: optical switching, optical data storage, imaging, bar code reading and beam steering for free-space optical communications. One vital component of these systems, the out-of-plane micromirror, is required for any redirection of light. The challenge for the design of these mirrors is to create an optically smooth and flat surface for producing minimum distortion reflections. If a micromirror scatters a significant amount of energy, then a higher power light source will be required reducing the efficiency and increasing the cost of the system. Typically, micromirrors fabricated through polycrystalline processes offer structural designs of multiple layers allowing for hinges to be created for out-of-plane operation. However, polycrystalline mirrors do not offer the flatness and smoothness that is achievable with single crystalline materials. Micromirrors made from single crystalline processes provide superior optical properties, but the complexity for designing out-of-plane structures is increased due to the single layer structural design requirement. To utilize the superior optical properties of single crystalline materials, we have designed single crystal silicon micromirrors using the micralyne generalized MEMS (MicraGEM) process with a novel latching system that allows the micromirrors to remain locked in a vertical position during operation.
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Comment cette classification a été obtenuedéplier
Prédiction machine sur la base complète
Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Le volet Gemma est une étiquette directe du modèle pour chaque travail de la base, lue sur la notice réduite au titre. Le volet Codex est un classifieur appris des 10 348 étiquettes directes de Codex et calibré sur les taux pondérés de l'échantillon; les champs sans appui suffisant ne portent aucun appel Codex. Le mode candidate est l'union des deux volets; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont pas des étiquettes humaines.
Scores du classifieur distillé par catégorie (deux têtes)
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,000 | 0,000 |
| Bibliométrie | 0,000 | 0,000 |
| Études des sciences et des technologies | 0,000 | 0,000 |
| Communication savante | 0,000 | 0,000 |
| Science ouverte | 0,000 | 0,000 |
| Intégrité de la recherche | 0,000 | 0,000 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,001 | 0,000 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.
score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découleClassification
machine, non validéePrédiction automatique; un appel candidat d’une seule source (Gemma direct ou Codex distillé), pas un consensus.
Le détail, modèle par modèle et score par score, se trouve en fin de page sous « Comment cette classification a été obtenue ».