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Enregistrement W2099211510 · doi:10.1117/12.702876

Creation of embedded structures in SU-8

2007· article· en· W2099211510 sur OpenAlex

Pourquoi ce travail est dans la base

Une base qui oublie comment elle a trouvé un travail ne peut pas être vérifiée. Voici les voies qui ont admis celui-ci.

affAu moins un auteur déclare une institution canadienne dans l'instantané OpenAlex épinglé.

Notice bibliographique

RevueProceedings of SPIE, the International Society for Optical Engineering/Proceedings of SPIE · 2007
Typearticle
Langueen
DomaineEngineering
ThématiqueElectrowetting and Microfluidic Technologies
Établissements canadiensSimon Fraser University
Organismes subventionnairesnon disponible
Mots-clésMaterials scienceGrayscaleMicrochannelPhotomaskChannel (broadcasting)WavelengthOptoelectronicsCollimated lightOpticsComputer scienceNanotechnologyResistLaserPhysicsPixelLayer (electronics)Telecommunications

Résumé

récupéré en direct d'OpenAlex

Two methods were investigated for the creation of encapsulated micro-fluidic channels and bridges in negative tone SU-8 photoresist. The first uses two exposures at different wavelengths to create the channel sidewalls and microchannel encapsulation layer; the other method creates both using a single I-line (365 nm) exposure and a grayscale photomask. These methods can define structures with vertical dimensions ranging to hundreds of microns and introduces very little extra processing complexity. For the dual wavelength method, an I-line light source is used to define the channel walls while a non-collimated deep-UV (254 nm) light source provides a large energy dose to the top surface of the SU-8 to produce a membrane over all the channels. Using the dual wavelength method allows SU-8 to be used as the material for the channels and the encapsulation method is self-limiting avoiding the requirement for precise control over the exposure dose. The rate of UV dose and the post-exposure baking parameters are critical to the quality and strength of the micro-channels. Properly designed channels have been successfully developed in lengths up to 1 cm. Alternatively using a grayscale Zn/Al bimetallic photomask and a single I-line exposure, 3D bridge micro-structures were successfully made on SU-8. The use of grayscale masks for both techniques also provides the possibility of shaping the channel. With the ability to create micro-bridges, further research will be performed to investigate how well the single exposure technique can be used to produce micro-channels of various sizes and dimensions.

Récupéré en direct depuis OpenAlex et désinversé. Les résumés ne sont pas conservés dans cette base de données : les index inversés représentent 8,6 Go des 9,3 Go de texte de la base, et le serveur dispose de 13 Go libres.

Prédiction distillée sur la base complète

Imitation des enseignants

Ni prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Apprise à partir de 10 348 étiquettes directes de Codex et de 10 348 étiquettes directes de Gemma. Le mode candidate est l'union des têtes enseignantes seuillées; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont ni des étiquettes humaines ni des étiquettes directes de modèles de pointe.

score de la tête « metaresearch » (Codex)0,001
score de la tête « metaresearch » (Gemma)0,000
Version: codex-gemma-dda1882f352aStatut de validation: machine_predicted_unvalidated
Catégories candidatesaucune
Catégories consensuellesaucune
DomaineSignal candidat: aucune · Signal consensuel: aucune
Devis d'étudeSignal candidat: Expérimental (laboratoire) · Signal consensuel: Expérimental (laboratoire)
GenreSignal candidat: Empirique · Signal consensuel: Empirique
Score de désaccord entre enseignants0,227
Score d'incertitude au seuil0,888

Scores Codex et Gemma par catégorie

CatégorieCodexGemma
Métarecherche0,0010,000
Méta-épidémiologie (sens strict)0,0000,000
Méta-épidémiologie (sens large)0,0000,000
Bibliométrie0,0000,000
Études des sciences et des technologies0,0000,000
Communication savante0,0000,000
Science ouverte0,0010,000
Intégrité de la recherche0,0000,000
Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger)0,0000,000

Scores machine (provisoires)

Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.

Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.

Tête enseignante Opus0,007
Tête enseignante GPT0,226
Écart entre enseignants0,218 · la distance entre les deux têtes enseignantes sur ce seul travail
Statut de validationscore_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découle