Inline coherent imaging of laser micromachining
Notice bibliographique
Résumé
In applications ranging from noncontact microsurgery to semiconductor blind hole drilling, precise depth control of laser processing is a major challenge. Even expensive a priori characterization cannot compensate for material heterogeneity and stochasticity inherent to the ablation process. Here we use in situ depth imaging to guide the machining process in real time. W e image along the machining beam axis at high speeds (up to 300 kHz) to provide real-time feedback, even in high aspect ratio holes. The in situ metrology is based on coherent imaging (similar to optical coherence tomography) and is practical for a wide-range of light sources and machining processes (e.g., thermal cutting or ultrafast nonlinear ablation). Coherent imaging has a high dynamic range (>; 60 dB) and strongly rejects incoherent signals allowing weak features to be observed in the presence of intense machining light and plasmas. High axial resolution (~10 μm) requires broadband imaging light but the center wavelength can be chosen appropriate to the application. Infrared light (wavelength: 1320 ± 35 nm) allows simultaneous monitoring of both surface and subsurface interfaces in non-absorbing materials like tissue and semiconductors. By contrast, silicon based detector technology can be used with near infrared imaging light (805 ± 25 nm) enabling high speed acquisition and low cost implementation.
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Comment cette classification a été obtenuedéplier
Prédiction distillée sur la base complète
Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Apprise à partir de 10 348 étiquettes directes de Codex et de 10 348 étiquettes directes de Gemma. Le mode candidate est l'union des têtes enseignantes seuillées; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont ni des étiquettes humaines ni des étiquettes directes de modèles de pointe.
Scores Codex et Gemma par catégorie
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,000 | 0,000 |
| Bibliométrie | 0,000 | 0,000 |
| Études des sciences et des technologies | 0,000 | 0,000 |
| Communication savante | 0,000 | 0,000 |
| Science ouverte | 0,000 | 0,000 |
| Intégrité de la recherche | 0,000 | 0,000 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,000 | 0,000 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.
score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découleClassification
machine, non validéePrédiction automatique; un appel candidat d’une seule tête enseignante, pas un consensus.
Le détail, modèle par modèle et score par score, se trouve en fin de page sous « Comment cette classification a été obtenue ».