Texture and stress analysis in as-deposited and annealed damascene Cu interconnects using XRD & OIM
Pourquoi ce travail est dans la base
Une base qui oublie comment elle a trouvé un travail ne peut pas être vérifiée. Voici les voies qui ont admis celui-ci.
Notice bibliographique
Résumé
Texture variations were investigated as a function of linewidth in as‐deposited and annealed damascene Cu interconnect lines using x‐ray diffraction (XRD) and orientation imaging microscopy (OIM). Texture was predominantly {111} fiber in narrower lines in as‐deposited condition with some contribution from {111}〈110〉 component in narrower linewidths and {111}〈112〉 component in the higher linewidths. Texture became sharper with decreasing linewidth in case of as‐deposited specimens and became more random upon annealing. The decrease in texture strength was attributed to the increased twinning upon annealing. The role of linewidth to pitch distance ratio on influencing the texture strength was identified. Electron back scatter diffraction (EBSD) investigations revealed variations in texture of the local grain population. Presence of sidewall {111} component was identified in the 0.4 and 0.5 μm lines in as‐deposited condition and persisted upon annealing but was absent in the 0.35 μm lines. Presence of {110} grains parallel to the surface became more dominant upon annealing in the narrowest 0.35 μm lines with a sidewall {100} component. Residual stresses measured in the lines were tensile in all the three principal directions with very low values in the normal direction for higher linewidths.
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Prédiction distillée sur la base complète
Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Apprise à partir de 10 348 étiquettes directes de Codex et de 10 348 étiquettes directes de Gemma. Le mode candidate est l'union des têtes enseignantes seuillées; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont ni des étiquettes humaines ni des étiquettes directes de modèles de pointe.
Scores Codex et Gemma par catégorie
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,001 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,000 | 0,000 |
| Bibliométrie | 0,000 | 0,001 |
| Études des sciences et des technologies | 0,000 | 0,000 |
| Communication savante | 0,000 | 0,000 |
| Science ouverte | 0,000 | 0,000 |
| Intégrité de la recherche | 0,000 | 0,000 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,000 | 0,000 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.
score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découle