Texture and stress analysis in as-deposited and annealed damascene Cu interconnects using XRD & OIM
Notice bibliographique
Résumé
Texture variations were investigated as a function of linewidth in as‐deposited and annealed damascene Cu interconnect lines using x‐ray diffraction (XRD) and orientation imaging microscopy (OIM). Texture was predominantly {111} fiber in narrower lines in as‐deposited condition with some contribution from {111}〈110〉 component in narrower linewidths and {111}〈112〉 component in the higher linewidths. Texture became sharper with decreasing linewidth in case of as‐deposited specimens and became more random upon annealing. The decrease in texture strength was attributed to the increased twinning upon annealing. The role of linewidth to pitch distance ratio on influencing the texture strength was identified. Electron back scatter diffraction (EBSD) investigations revealed variations in texture of the local grain population. Presence of sidewall {111} component was identified in the 0.4 and 0.5 μm lines in as‐deposited condition and persisted upon annealing but was absent in the 0.35 μm lines. Presence of {110} grains parallel to the surface became more dominant upon annealing in the narrowest 0.35 μm lines with a sidewall {100} component. Residual stresses measured in the lines were tensile in all the three principal directions with very low values in the normal direction for higher linewidths.
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Comment cette classification a été obtenuedéplier
Prédiction machine sur la base complète
Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Le volet Gemma est une étiquette directe du modèle pour chaque travail de la base, lue sur la notice réduite au titre. Le volet Codex est un classifieur appris des 10 348 étiquettes directes de Codex et calibré sur les taux pondérés de l'échantillon; les champs sans appui suffisant ne portent aucun appel Codex. Le mode candidate est l'union des deux volets; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont pas des étiquettes humaines.
Scores du classifieur distillé par catégorie (deux têtes)
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,000 | 0,000 |
| Bibliométrie | 0,000 | 0,000 |
| Études des sciences et des technologies | 0,000 | 0,000 |
| Communication savante | 0,000 | 0,000 |
| Science ouverte | 0,000 | 0,000 |
| Intégrité de la recherche | 0,000 | 0,000 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,001 | 0,000 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.
score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découleClassification
machine, non validéePrédiction automatique; un appel candidat d’une seule source (Gemma direct ou Codex distillé), pas un consensus.
Le détail, modèle par modèle et score par score, se trouve en fin de page sous « Comment cette classification a été obtenue ».