Humidity Sensing of Ordered Macroporous Silicon With ${\rm HfO} _{2}$ Thin-Film Surface Coating
Notice bibliographique
Résumé
Porous silicon (PS), as a gas/chemical sensing material, has been widely investigated. In this paper, the humidity sensing characteristics of n-type macroporous silicon with ordered structure and metal oxide thin-film coating is studied. The ordered PS has uniform pore size, pore shape and distribution. All pores are aligned vertically and open to the environment. The PS heterostructure (PS/Si substrate) and self-supporting membrane are fabricated and their resistance responses are measured under room temperature. A resistance variation of 23.5% and 28.3% for each structure are obtained, respectively. Surface modification for sensing enhancement is also investigated. The resistance and capacitance responses of ordered PS heterostructure with HfO2thin-film coating are characterized. The HfO2modified PS show high sensing variation and near-linear response to a wide range of relative humidity (RH). It is also demonstrated that PS with HfO2thin-film coating is able to sense the RH change faster than a commercial humidity sensor. To the best of our knowledge, this is the first time that humidity sensing with ordered porous silicon and HfO2thin-film is reported. Possible sensing mechanisms and future work are also discussed.
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Comment cette classification a été obtenuedéplier
Prédiction machine sur la base complète
Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Le volet Gemma est une étiquette directe du modèle pour chaque travail de la base, lue sur la notice réduite au titre. Le volet Codex est un classifieur appris des 10 348 étiquettes directes de Codex et calibré sur les taux pondérés de l'échantillon; les champs sans appui suffisant ne portent aucun appel Codex. Le mode candidate est l'union des deux volets; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont pas des étiquettes humaines.
Scores du classifieur distillé par catégorie (deux têtes)
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,000 | 0,000 |
| Bibliométrie | 0,000 | 0,000 |
| Études des sciences et des technologies | 0,000 | 0,000 |
| Communication savante | 0,000 | 0,000 |
| Science ouverte | 0,000 | 0,000 |
| Intégrité de la recherche | 0,000 | 0,000 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,000 | 0,000 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.
score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découleClassification
machine, non validéePrédiction automatique; un appel candidat d’une seule source (Gemma direct ou Codex distillé), pas un consensus.
Le détail, modèle par modèle et score par score, se trouve en fin de page sous « Comment cette classification a été obtenue ».