Roughness characterisation of gas phase micromachining process suitable for fabricating silicon based microsystems
Notice bibliographique
Résumé
Non-conventional or advanced machining techniques are becoming the enabling fabrication techniques for many emerging fields including Micro Electro Mechanical Systems (MEMS) or Microsystems Technology (MST). The processes used for MEMS fabrication include standard semiconductor fabrication processes and emerging micromachining techniques. Among the challenges emerging from the manufacturing of MEMS devices, post-processing seems to be one of the most sensitive issues. The non-traditional common post-processing techniques are bulk micromachining and surface micromachining. It has been a challenge for MEMS designers to develop a micromachining technique that is compatible with IC (Integrated Circuits) processes and also capable of making MEMS structures through both bulk and surface micromachining with acceptable surface roughness requirements. The selected micromachining process should not affect the integrity of the free standing structure due to the reduced selectivity and aggressive etch of the adjacent electronic circuitry. Moreover, the integrity of the released structure, the dynamic properties as well as the electrostatic characteristics, are strongly dependent on the achieved roughness of the surfaces produced by the etching process. Hence, this paper presents the surface roughness characterisation of gas phase micromachining with XeF2 that is suitable for fabricating integrated MEMS with both micromechanical and microelectronics components. This paper also presents some fabricated microsystems using this process.
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Comment cette classification a été obtenuedéplier
Prédiction distillée sur la base complète
Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Apprise à partir de 10 348 étiquettes directes de Codex et de 10 348 étiquettes directes de Gemma. Le mode candidate est l'union des têtes enseignantes seuillées; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont ni des étiquettes humaines ni des étiquettes directes de modèles de pointe.
Scores Codex et Gemma par catégorie
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,000 | 0,000 |
| Bibliométrie | 0,001 | 0,000 |
| Études des sciences et des technologies | 0,000 | 0,000 |
| Communication savante | 0,000 | 0,000 |
| Science ouverte | 0,000 | 0,000 |
| Intégrité de la recherche | 0,000 | 0,000 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,000 | 0,000 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.
score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découleClassification
machine, non validéePrédiction automatique; un appel candidat d’une seule tête enseignante, pas un consensus.
Le détail, modèle par modèle et score par score, se trouve en fin de page sous « Comment cette classification a été obtenue ».