Raman investigation of hydrogen-implanted and DC hydrogen-plasma-treated Cz Si wafers
Notice bibliographique
Résumé
The general goal of this work is to demonstrate that the buried defect layer created by hydrogen implantation can serve as a gettering region for hydrogen introduced from a DC plasma and to study the efficiency of this gettering affected by the implantation regimes. Standard n-type 4.5 Ω⋅cm Cz Si wafers were implanted by hydrogen ions with an energy of 100 keV and different doses of 1 × 10 14 , 1 × 10 15 , or 5 × 10 15 atoms/cm 2 at temperatures of 150, 300, 400, or 500 °C. After implantation, hydrogen was introduced to the wafers from the DC plasma at 150 °C. For a comparative estimation of the hydrogen concentration in the wafers implanted in different regimes Raman spectroscopy was used. The peaks of the Raman spectra associated with molecular hydrogen (H 2 ), vacancy-hydrogen (V–H), and silicon–hydrogen (Si–H) complexes were studied depending on the implantation conditions. It is demonstrated that peaks of Raman spectra depend significantly on the dose and temperature of implantation. This means that the concentration of hydrogen in the wafers could be determined from the concentration and type of defects formed by hydrogen implantation. Maximum peaks associated with H 2 , Si–H, and V–H complexes were observed for the samples implanted at a temperature of 500 °C.
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Comment cette classification a été obtenuedéplier
Prédiction distillée sur la base complète
Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Apprise à partir de 10 348 étiquettes directes de Codex et de 10 348 étiquettes directes de Gemma. Le mode candidate est l'union des têtes enseignantes seuillées; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont ni des étiquettes humaines ni des étiquettes directes de modèles de pointe.
Scores Codex et Gemma par catégorie
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,000 | 0,000 |
| Bibliométrie | 0,000 | 0,000 |
| Études des sciences et des technologies | 0,000 | 0,000 |
| Communication savante | 0,000 | 0,000 |
| Science ouverte | 0,000 | 0,000 |
| Intégrité de la recherche | 0,000 | 0,000 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,000 | 0,000 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.
score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découleClassification
machine, non validéePrédiction automatique; un appel candidat d’une seule tête enseignante, pas un consensus.
Le détail, modèle par modèle et score par score, se trouve en fin de page sous « Comment cette classification a été obtenue ».