Plasma-Enhanced Atomic Layer Deposition of Ta(C)N Thin Films for Copper Diffusion Barrier
Notice bibliographique
Résumé
Ta(C)N thin films were deposited by plama-enhanced atomic layer deposition using an alternate supply of tertiary amyl imido-tris(dimethylamido) tantalum [TAIMATA] and hydrogen plasma at 230°. Hydrogen plasma acted as an effective reducing agent for TAIMATA. The film thickness/cycle was saturated at 0.132nm/cycle, when the source pulse time exceeds 5 sec. The resistivity of Ta(C)N films was 1000 μΩ-cm, which is higher value as the application of Cu diffusion barrier material. However, the resistivity of TaN films improved with the increase of hydrogen plasma time because of the decrease of Ta3N5 (>106 μΩ-cm) phase formed by insufficient active hydrogen radical to reduce alkyl groups in TAIMATA, the formation of Ta-C (30 μΩ-cm) phase, and the increase of crystallinity of cubic-TaN. By applying higher plasma power, the lattice mismatch between Ta(C)N and CVD-Cu can be minimized. As a result, Ta(C)N films showed an improved adhesion to CVD-Cu.
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Comment cette classification a été obtenuedéplier
Prédiction distillée sur la base complète
Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Apprise à partir de 10 348 étiquettes directes de Codex et de 10 348 étiquettes directes de Gemma. Le mode candidate est l'union des têtes enseignantes seuillées; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont ni des étiquettes humaines ni des étiquettes directes de modèles de pointe.
Scores Codex et Gemma par catégorie
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,000 | 0,000 |
| Bibliométrie | 0,000 | 0,000 |
| Études des sciences et des technologies | 0,000 | 0,000 |
| Communication savante | 0,000 | 0,000 |
| Science ouverte | 0,000 | 0,000 |
| Intégrité de la recherche | 0,000 | 0,000 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,000 | 0,000 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.
score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découleClassification
machine, non validéePrédiction automatique; un appel candidat d’une seule tête enseignante, pas un consensus.
Le détail, modèle par modèle et score par score, se trouve en fin de page sous « Comment cette classification a été obtenue ».